Robuste
Système de mesure intégré de la température du rotor, performances fiables sur toute la plage de fonctionnement thermique
Silencieux
Faibles niveaux de bruit et de vibrations grâce à la technologie brevetée d’équilibrage laser, parfaitement adapté aux applications sensibles aux vibrations
Modulable
Intégration simple, même dans de petits systèmes analytiques, léger et portable
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Automobile et transport
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Détection de fuite et test EOL
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Recherche spatiale
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Impression 3D
Batterie
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Détection de fuite et test EOL (maître)
Industrie chimique
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Vide de laboratoire
Économie d’hydrogène
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Détection de fuite et test EOL (maître)
Médical
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Vide de laboratoire
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Spectromètre de masse
Métallurgie
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Impression 3D
Industrie pharmaceutique et biotechnologique
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Vide de laboratoire
Production d’électricité
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Production d’énergie verte
R&D
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Physique à haute énergie
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Recherche en photonique
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Recherche spatiale
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Ultravide
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Cryogénie
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Physique du plasma
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Vide de laboratoire
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Spectrométrie de masse
Réfrigération et climatisation
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Détection de fuite et test EOL
Instruments scientifiques
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Spectrométrie de masse
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Analyse de surface
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Microscopie électronique
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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Décapage/Cendrage
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PVD
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Inspection et métrologie
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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Implantation ionique
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PECVD
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Lithographie
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Sas de chargement et transfert
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Dépôt en couches atomiques (ALD)
Gaz techniques
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Mise en bouteille
Revêtement à couche mince
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Revêtement décoratif
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Revêtement de laboratoire
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Revêtement de protection contre l'usure