Fiable
Technologie de roulement hybride de pointe, lubrification supérieure des roulements pour une longue durée de vie
Débit de gaz élevé
Vitesse de pompage élevée, compatible avec une grande variété de pompes primaires, compression élevée pour les gaz légers
Haute performance
Géométrie de rotor optimisée, manutention améliorée des charges de gaz
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Automobile et transport
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Recherche spatiale
Industrie chimique
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Vide de laboratoire
Médical
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Vide de laboratoire
Industrie pharmaceutique et biotechnologique
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Vide de laboratoire
R&D
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Physique à haute énergie
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Recherche spatiale
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Ultravide
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Physique du plasma
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Vide de laboratoire
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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Décapage/Cendrage
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PVD
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Inspection et métrologie
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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Implantation ionique
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PECVD
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Lithographie
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Sas de chargement et transfert
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Dépôt en couches atomiques (ALD)
Gaz techniques
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Mise en bouteille