- Efficace
- Facilité d'entretien
- Robuste
Traitement humide des gaz
De nombreux procédés de fabrication produisent des substances nocives qui, sans intervention, seraient rejetées avec les gaz résiduaires. Le lavage humide permet d'épurer les substances hydrosolubles et de les lier au liquide de nettoyage, après quoi elles peuvent être éliminées en toute sécurité. Notre série de produits CT-W offre la solution de lavage humide adaptée à chaque application dans divers secteurs. De la fabrication de semi-conducteurs à la production de LED et de panneaux photovoltaïque, en passant par les universités et autres instituts de recherche.
Les avantages
Haute efficacité avec deux étages humides
Suppression efficace des gaz solubles dans l’eau et des particules
Neutralisation interne pour minimiser la consommation d’eau douce
Découvrez nos laveurs humides
Laveur humide CT-W (point d’utilisation)
Avantages du CT-W (point d’utilisation)
Le CT-W offre un traitement efficace des gaz HCl, HF, SiH2Cl2, SiCl4 et NH3 ainsi que d’autres gaz résiduaires acides et alcalins dans des applications telles que la gravure et l’épitaxie. Comme il utilise un minimum d’eau douce dans son fonctionnement, les coûts d’exploitation sont faibles.
Ce laveur est flexible et peut être utilisé avec des agents neutralisants acides ou alcalins. Ils servent à neutraliser les eaux usées, dont le pH est modifié pendant le lavage en fonction des gaz traités.
Des améliorations du temps de disponibilité, telles que le nettoyage mécanique de l’entrée, le rinçage Venturi au N2 et les raccordements de gaz d’échappement chauffés pour WF6, BCl3, AlCl3 et NH4Cl sont possibles, garantissant un taux de disponibilité de plus de 99 %. De plus, la maintenance est rapide et facile.
Une version antidéflagrante est également disponible pour les flux d’échappement de H2 élevés.
Laveur humide centralisé CT-W (fin de ligne)
Pour le traitement des gaz à haut débit volumétrique
- Efficace
- Facilité d'entretien
- Configurations personnalisables
Avantages du CT-W (fin de ligne)
Le laveur humide CT-W est un laveur centralisé en fin de ligne offrant une efficacité de nettoyage très élevée pour les gaz hydrosolubles, y compris le NH3, le HCl, le HF, le méthanol et l’éthanol. Conçu pour des flux de gaz élevés, il contient plusieurs jets à contre-courant haute pression pour un nettoyage et une séparation efficaces des particules les plus fines. Le laveur peut être personnalisé et adapté à votre procédé. Des agents neutralisants acides et alcalins peuvent être utilisés et des configurations d’équipement individuelles sont disponibles en fonction du débit volumétrique et des types de gaz.