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Vannes à vide

Essentielles pour la conception d’un système de vide.

vannes à vide

Les vannes à vide jouent un rôle crucial dans la conception et la fonctionnalité des systèmes de vide, garantissant un contrôle précis et une fiabilité dans diverses industries et applications de recherche.

Notre portefeuille de vannes comprend un large éventail de vannes de régulation de pression et de vannes d'arrêt, disponibles avec différents types d'actionneurs et de flasques pour répondre à divers besoins opérationnels.

Types de vannes à vide

Les systèmes de vide basiques se composent de trois types d'équipements principaux : pompes à vide, chambres sous vide et vannes à vide. Le choix des bonnes vannes à vide est crucial pour optimiser les performances du système et l'interaction de ces composants principaux.

Les vannes à vide sont généralement classées en deux catégories principales : vannes d'arrêt et vannes de régulation de pression.

Vannes d’arrêt

Ces vannes isolent le débit de gaz et peuvent être manuellement, pneumatiquement,ou électriquement actionnées. Elles sont essentielles pour maintenir les conditions de vide en isolant les sections d’un système de vide.

Adaptées à diverses applications, notamment la fabrication de semi-conducteurs, la R&D, et les procédés industriels, les vannes d'arrêt garantissent une étanchéité fiable et une efficacité opérationnelle.
  • hv_valve

    Vannes d'équerre HV

    Idéales pour les systèmes de vide poussé où l’importance est accordée à un faible dégazage et à une résistance à une pression différentielle élevée.

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  • uhv_valve

    Vannes d'équerre UHV

    Performances fiables avec des émissions de particules réduites et un dégazage minimal pour les applications d’ultravide.

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  • mini_valve

    Mini-vannes d'équerre

    Particulièrement adaptées à l’étanchéité et à la purge dans les applications à faible encombrement et disposant de peu d’espace.

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  • hv_gate_valves

    Vannes d'arrêt HV

    Valeurs de conductance élevées pour les flux moléculaires – idéales pour les applications de vide poussé

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  • Vannes pendulaires HV

    Vannes pendulaires HV

    Offrent un actionnement en douceur et une conductance élevée – idéales pour les applications avec un espace limité et un besoin d’isolation fiable

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  • Vanne tiroir UHV

    Vannes d'arrêt UHV

    Conductance élevée et excellente étanchéité – idéales pour les applications d’ultravide

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  • Robinets à boisseau sphérique

    Robinets à boisseau sphérique

    Capacité de manutention de procédés difficiles – convient aux applications nécessitant une étanchéité et une durabilité fiables

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  • inline_valves

    Vannes en ligne

    Conçues pour un débit de gaz efficace et des pressions différentielles élevées – idéales pour les applications industrielles et de recherche

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  • Vannes de purge

    Vannes de purge

    Remise à l’air contrôlée des systèmes de vide à la pression atmosphérique – essentielle pour une maintenance et des arrêts du système en toute sécurité

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  • Vannes à membrane

    Vannes à membrane

    Optimal pour les conditions de vide poussé

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  • vannes papillon

    Vannes papillon

    Idéales pour isoler des sections d’un système de vide dans des applications de vide poussé

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Vannes de régulation de pression

Les systèmes de régulation de pression se composent de trois composants essentiels : vannes, contrôleurs et jauges. La fonction principale des vannes est de contrôler la pression à l’intérieur d’une chambre sous vide et le débit de gaz dans les systèmes de vide.

Ces vannes de régulation de pression sont idéales pour les applications exigeant un contrôle du procédé précis, telles que celles de l’industrie des semi-conducteurs et les applications de revêtement.
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    Vannes de dosage

    Débit de gaz contrôlé avec précision à l’aide d’un mécanisme de dosage à électrovanne.

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  • gas_dosing_valve

    Vannes de dosage de gaz

    Débit et pression de gaz fiables et contrôlés dans les systèmes de vide

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Actionneurs

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Les vannes peuvent être activées de différentes manières.

Les vannes d’arrêt sont généralement actionnées manuellement à l’aide d’un volant ou d’un mécanisme de fermeture/ouverture rapide, ou pneumatiquement, à l’aide d’air comprimé.

Cependant, nos vannes d’arrêt de la série E fonctionnent par actionnement électrique. Les vannes de régulation de pression sont également actionnées électriquement par un moteur.

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Commande manuelle

Les vannes manuelles peuvent être actionnées sans électronique à l’aide d’un volant ou d’un mécanisme de fermeture/ouverture rapide.

Les volants à main assurent un contrôle précis et progressif pour un fonctionnement en douceur, tandis que les mécanismes d’ouverture/fermeture rapides permettent un actionnement rapide pour une isolation rapide ou des situations d’urgence.

Commande pneumatique

Les vannes à commande pneumatique nécessitent un approvisionnement en air comprimé sans huile. Ceci permet de déplacer un piston interne qui ouvre ou ferme la vanne.

Commande électrique

L’actionnement électrique utilise des moteurs pour convertir l’énergie électrique en mouvement mécanique précis. Cela ouvre ou ferme la vanne sans avoir besoin d’air comprimé.

Commande électro-pneumatique

Les vannes à actionnement électropneumatique contiennent une vanne à actionnement pneumatique avec une électrovanne intégrée pour le contrôle de l’alimentation en air comprimé.

Une électrovanne est une vanne commandée électriquement qui s’ouvre ou se ferme lorsqu’un champ magnétique est généré par un courant électrique.

Cela permet d’actionner la vanne à distance via un signal électrique, combinant le mouvement rapide et fiable de l’actionnement pneumatique avec la commodité et le contrôle d’un interrupteur électronique.

FAQ

Qu’est-ce qu’une vanne de vide?

Une vanne de vide est un composant mécanique qui contrôle le débit de gaz à l’intérieur d’un système de vide.

Chaque vanne a un rôle différent : elle peut simplement s’ouvrir ou se fermer pour démarrer ou arrêter le débit de gaz, ou elle peut contrôler le débit pour aider à établir ou à maintenir un niveau de pression souhaité. Certains types de vanne peuvent également rediriger le gaz, par exemple en ventilant une chambre sous vide avec du gaz propre et sec, pour ramener le système à la pression atmosphérique en toute sécurité ou pour que les composants sensibles soient protégés pendant l’arrêt.

Les vannes de vide se présentent sous différentes formes avec différentes méthodes d’actionnement, y compris des conceptionsmanuelles, pneumatiqueset électriques.

Les vannes à vide sont utilisées en combinaison avec des pompes à vide et des chambres sous vide. Elles sont essentielles pour un fonctionnement fiable et précis dans des applications telles que la fabrication de semi-conducteurs, le revêtement à couche minceet les laboratoires de recherche.

Quelle est la différence entre les différents types de vanne?

Chaque type de vanne remplit une fonction spécifique au sein d’un système de vide.
La vue d’ensemble ci-dessous met en évidence les principales caractéristiques et les cas d’utilisation pour vous aider à choisir celui qui convient à votre application.

Type de vanne
Fonctions standard
Avantages clés:
Applications typiques
Vanne tiroir
S’ouvre et se ferme avec un plateau plat pour isoler les sections
Conductance très élevée, convient pour le vide poussé et l’ultravide.
Sas de chargement et chambres de transfert, systèmes de revêtement, isolation des turbopompes
Vanne équerre
Réoriente le débit de gaz de 90° à l’aide d’un joint, d’un bouchon et d’une tige
Conception compacte adaptée aux systèmes avec restrictions de tuyauterie nécessitant un changement de direction du débit
Systèmes de vide généraux, installations de R&D, tous les marchés
Vanne papillon
Disque tournant pour isoler ou contrôler le débit
Actionnement rapide et léger
Robinet à boisseau sphérique
Contrôle du débit marche/arrêt via une bille pivotante
Conception compacte et robuste, actionnement rapide
Systèmes industriels et systèmes automobiles, semi-conducteur
Vanne à membrane
Contrôle du débit via une membrane flexible
Fonctionnement propre, faible risque de contamination
Vanne pendulaire
Mouvement d’étanchéité plat avec une porte tournante
Convient aux espaces étroits, haute conductance, particules minimales
Semi-conducteur et dépôt en couche mince, isolation des turbopompes
Vanne de purge
Permet une ventilation contrôlée vers l’atmosphère pour relâcher l’excès de pression
Équilibrage sûr de la pression, les composants sont protégés
Maintenance et ventilation de la chambre

Comment la vanne est-elle activée ?

Les vannes peuvent être actionnées de trois façons différentes : manuellement, pneumatiquement et électriquement.

  • Manuellement opérées, les vannes s’ouvrent à l’aide d’un volant ou d’un mécanisme d’ouverture/fermeture rapide. Les mécanismes d’ouverture/fermeture rapides permettent une activation rapide pour une isolation rapide ou des situations d’urgence.
  • Pneumatiquement commandées, les vannes utilisent de l’air comprimé pour déplacer un piston interne ou une membrane, ce qui ouvre ou ferme le mécanisme de la vanne.
  • L’actionnement électrique utilise des moteurs pour convertir l’énergie électrique en mouvement mécanique précis, permettant un contrôle automatisé et fiable sans besoin d’air comprimé.
En outre, une version combinée est disponible : les vannes électropneumatiques utilisent également de l’air comprimé, mais avec une électrovanne intégrée pour le contrôle du débit. Cette électrovanne est une vanne de régulation électrique qui s’ouvre ou se ferme lorsqu’un champ magnétique est généré.

À des fins de surveillance, des indicateurs de position sont disponibles pour déterminer si une vanne est ouverte ou fermée. Les vannes manuelles sont généralement équipées d’un indicateur visuel, tandis que les vannes pneumatiques peuvent fournir un retour électrique direct au système de vide, garantissant un contrôle et une surveillance précis. Ces indicateurs sont généralement montés directement sur la tige de la vanne ou sur le boîtier de l’actionneur, où ils suivent l’emplacement de l’élément mobile à l’intérieur de la vanne.

Quels critères dois-je prendre en compte lors du choix d’une vanne de vide?

Plusieurs critères doivent être pris en compte pour trouver une vanne de vide adaptée à votre application.

  • Objectif : l’application influence considérablement le choix de la vanne. Les exigences varient selon que la vanne est principalement utilisée pour ouvrir et fermer les conduites de vide ou pour le contrôle de la pression.
  • Installation et compatibilité du système : les dimensions physiques de l’espace d’installation disponible ainsi que les brides de la pompe à vide et de la chambre ont une influence directe sur le choix de la taille de vanne appropriée.
  • Mélange pompé : La composition des gaz circulant à travers la vanne influence fortement le choix des matériaux pour garantir la durabilité et la fiabilité de la vanne.
  • Température : La connaissance des températures attendues est essentielle pour sélectionner les matériaux appropriés pour le corps de vanne et les joints afin de garantir une fonctionnalité durable.
  • Pression : Comprendre les conditions de pression auxquelles la vanne sera exposée influence le choix de la vanne.

Prenez contact avec nos experts et trouvez la vanne de vide idéale pour votre application.

Qu’est-ce qui rend les vannes de vide Pfeiffer spéciales?

Les vannes de la série E sont un remplacement direct des vannes actionnées pneumatiquement et électropneumatiquement, combinant leur robustesse et leur fonctionnalité avec les avantages d’un actionnement entièrement électrique. Ils éliminent le besoin d’air comprimé et d’électrovannes externes tout en évitant les inconvénients typiques des vannes à commande électromagnétique, tels qu’une consommation électrique élevée, une précision de positionnement limitée et un dégagement de chaleur accru. Il en résulte une commande des soupapes précise et fiable avec une consommation d’énergie réduite et une intégration simplifiée au système.

Nos vannes de régulation de pression intègrent deux innovations clés conçues pour des performances exceptionnelles :

  • La technologie de commande du moteur à l’intérieur du contrôleur permet un fonctionnement rapide et une résolution fine de la position, permettant une réponse rapide aux conditions changeantes du procédé.
  • Notre algorithme adaptatif de régulation de la pression fonctionne en tandem avec la commande du moteur pour ajuster en continu la réponse de la vanne en fonction des conditions actuelles. Cela permet de maintenir avec précision la pression cible.

Pour quelles plages de pression la vanne peut-elle être utilisée ?

Les vannes de vide conviennent à toutes les applications de vide, le choix de la vanne dépendant de la technologie d’étanchéité requise pour des niveaux de pression spécifiques:

  • Pour les applications de vide poussé, Pfeiffer propose une large gamme de vannes avecjoints en élastomère et brides ISO-KF/ISO-K, garantissant des performances fiables.
  • Pour les applications d’ultravide, les vannes avec joints métalliques et brides CF sont le meilleur choix. Des vannes entièrement métalliques avec joints entièrement métalliques sont également disponibles pour les applications à haute température.

Quels sont les joints et mécanismes d’étanchéité disponibles ?

Les joints et les méthodes d’étanchéité jouent un rôle décisif dans le choix de la vanne adaptée au système de vide.

Comme la résistance à la température et les taux de dégazage varient, le choix du joint est finalement déterminé en fonction des exigences du procédé. Cela inclut la résistance à la température nécessaire et le niveau de vide requis.

  • Les joints en élastomère assurent une étanchéité fiable pour les applications de vide poussé. Leur résistance à la température dépend à la fois du matériau élastomère et du type d’actionnement. Certaines vannes ont donc des propriétés différentes qui les rendent plus adaptées à des applications particulières.
  • Les joints métalliques ne nécessitent pas d’élastomères. Cela signifie qu’elles ont des taux de dégazage extrêmement faibles et sont donc idéales pour les applications d’ultravide.

Quels types de vanne de vide poussé sont disponibles ?

Chez Pfeiffer, vous trouverez une large gamme de vannes de vide poussé pour différents besoins d’installation et de performance. Le choix de la bonne vanne dépend de plusieurs facteurs, notamment la séquence du procédé, la température du procédé, le vide limite et la composition du gaz. Les systèmes de vide poussé et ultravide nécessitent des vannes qui combinent étanchéité fiable, conductance élevée et durabilité.

  • Les vannes d'équerre détournent le débit de gaz de 90°, tandis que les vannes en ligne – avec des brides de raccordement opposées – permettent une installation facile dans des tuyauteries droites. Les deux variantes utilisent généralement des soufflets comme joint.
  • Les vannes tiroir et la vanne pendulaire d’isolement sont idéales pour les espaces confinés et assurent un débit de gaz sans obstruction avec un passage optiquement libre. Elles sont conçues pour le vide poussé et l’ultravide et s’ouvrent souvent à de faibles pressions différentielles. Ils constituent le choix idéal pour les sas ou en amont des pompes à vide.
  • Les vannes à bille peuvent également être utilisées dans certaines applications de vide poussé. Les conceptions KF économiques présentent des taux de fuite de 10-6 mbar l/s et résistent à des températures allant jusqu’à 80 °C. Les conceptions spéciales conviennent à la plage HV et résistent à des températures allant jusqu’à 150 °C.