- Efficienza
- Facile manutenzione
- Robustezza
Trattamento gas a umido
Durante molti processi di produzione vengono prodotte sostanze nocive che, se non si intervenisse, verrebbero rilasciate insieme ai gas esausti. Lo scrubbing a umido consente di lavare le sostanze idrosolubili e di legarle al liquido di lavaggio, dopodiché possono essere smaltite in sicurezza. La nostra serie di prodotti CT-W offre la giusta soluzione di scrubbing a umido per ogni applicazione in vari settori. Dalla produzione di semiconduttori alla produzione di LED e fotovoltaico, nonché in università e altri istituti di ricerca.
Vantaggi
Elevata efficienza con due stadi a umido
Rimozione efficiente di gas e particelle idrosolubili
Neutralizzazione interna per ridurre al minimo il consumo di acqua dolce
Scoprite i nostri scrubber a umido
Scrubber a umido CT-W (utilizzo locale)
Vantaggi del CT-W (punto di utilizzo)
Il CT-W offre un trattamento efficiente di HCl, HF, SiH2Cl2, SiCl4 and NH3 insieme ad altri gas esausti acidi e alcani in applicazioni quali l'etching e l'epitassia. I costi di esercizio vengono mantenuti bassi, grazie alla minima quantità di acqua dolce utilizzata nel processo.
Questo scrubber è flessibile e può essere utilizzato con agenti neutralizzanti acidi o alcalini. Questi servono a neutralizzare le acque reflue, il cui pH viene alterato durante il lavaggio a seconda dei gas che vengono processati.
Sono possibili miglioramenti dell'operatività come la pulizia meccanica all'aspirazione, flushing Venturi con N2 e ingressi riscaldati dei gas esausti per WF6, BCl3, AlCl3 e NH4Cl, garantendo un'operatività superiore al 99%. Inoltre, la manutenzione è rapida e semplice.
È disponibile anche una versione antideflagrante per flussi di scarico di H2 elevati.
Scrubber a umido centrale CT-W (a valle del processo)
Per il trattamento di gas con elevata portata volumetrica
- Efficienza
- Facile manutenzione
- Configurazioni personalizzabili
Vantaggi del CT-W (a valle del processo)
Lo scrubber a umido CT-W è un scrubber centrale ubicato a valle del processo con un'elevata efficienza di pulizia per gas idrosolubili, tra cui NH3, HCl, HF, metanolo ed etanolo. Progettato per flussi di gas elevati, contiene diversi ugelli di controflusso ad alta pressione per una pulizia e una separazione efficaci delle particelle più piccole. Lo scrubber può essere personalizzato e adattato al vostro processo. È possibile utilizzare agenti neutralizzanti sia acidi che alcalini e sono disponibili configurazioni individuali dell'apparecchiatura a seconda della portata volumetrica e dei tipi di gas.