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Famiglia di prodotti | Gas rilevabili |
|---|---|
ASM | Elio, idrogeno |
ASI | Elio, idrogeno |
Serie Air | Aria, azoto |
La rivelazione di perdite di gas tracciante utilizzando elio o gas di formatura dell'idrogeno (una miscela di idrogeno e un gas inerte, solitamente azoto) è ideale per identificare indici di perdita estremamente bassi con elevata precisione. Questo metodo è ampiamente utilizzato in tutti i settori in cui accuratezza, ripetibilità e sensibilità sono fondamentali, come nella produzione di semiconduttori.
I rilevatori di perdite d'aria con il nostro sensore Micro-Flow brevettato sono unici nel settore. Questi sensori di perdite di gas intelligenti misurano flusso, pressione e temperatura per fornire un risultato numerico direttamente proporzionale all'indice di perdita e quindi all'entità del difetto. Questa tecnologia offre diversi vantaggi rispetto ad altri metodi di test di tenuta.
Una perdita di vuoto è un'apertura involontaria o indesiderata in un sistema per vuoto. Consente all'aria o ad altri gas di entrare o uscire dal sistema. La quantità di aria o gas che fuoriesce da un sistema per vuoto è espressa come indice di perdita. Gli indici di perdita dipendono da diversi fattori, tra cui la dimensione e il numero di aperture, il tipo di gas e la pressione differenziale tra l'interno e l'esterno del sistema.
Esistono due tipi di perdite di vuoto:
Le perdite di vuoto si verificano per vari motivi. Questi includono problemi come tenute difettose o vecchie che sono diventate porose, componenti danneggiati o installazione impropria delle apparecchiature per vuoto.
Non esiste una dimensione media per una perdita di vuoto. Una perdita può derivare da un foro microscopico, da una lacerazione di grandi dimensioni o da qualsiasi altra causa. La dimensione di una perdita di vuoto può essere determinata misurando l'indice di perdita, che è la quantità di gas di processo o aria che fuoriesce dal sistema per secondo. La maggior parte delle perdite tecniche è troppo piccola per essere vista a occhio nudo. I rivelatori di perdite di elio, o aria forniscono il metodo più accurato per rilevare e quantificare piccole perdite di vuoto.
Esistono diversi modi per rilevare le perdite con un rilevatore di perdite: con gas tracciante o con aria.
Con il gas tracciante come mezzo di rilevamento, ci sono tre opzioni. Il test con spray è adatto per i componenti sotto vuoto, mentre la rilevazione di perdite mediante sniffing viene utilizzata per i componenti sotto pressione. Un test di tenuta integrale è una variante per i componenti che possono essere posizionati all'interno di una camera per vuoto.
I metodi di prova sono facili da eseguire e forniscono risultati accurati, rendendo un rilevatore di perdite di Pfeiffer la perfetta aggiunta al vostro processo del vuoto.
Figura 1: test con spray
Figura 1: test con spray
Figura 2: rilevazione di perdite mediante sniffing
Figura 2: rilevazione di perdite mediante sniffing
Figura 3: rilevazione di perdite integrale
Figura 4: rilevazione di perdite integrale
Figura 3: rilevazione di perdite integrale
Figura 4: rilevazione di perdite integrale
Per un test con spray integrale, l'oggetto del test è collegato al rilevatore di perdite e posizionato all'interno di un serbatoio (3). Proprio come un test con spray convenzionale, i test con spray integrali vengono eseguiti sotto vuoto. Tuttavia, mentre un test con spray convenzionale evacua l'oggetto del test stesso, questo metodo evacua solo il contenitore circostante. Il serbatoio viene quindi riempito con una quantità definita di elio. Ciò garantisce condizioni di test precise e risultati accurati. In caso di perdita, l'elio penetra nell'oggetto del test a causa della pressione differenziale. Il rilevatore di perdite misura la quantità di elio all'interno dell'oggetto del test e determina l'indice di perdita. I metodi di test di tenuta integrale, tuttavia, non possono localizzare la perdita.
Innanzitutto, l'oggetto del test viene collegato all'allestimento di prova. Questo comprende il rilevatore di perdite e un serbatoio dell'aria. L'oggetto del test viene quindi pressurizzato con l'aria proveniente dal serbatoio a un livello di pressione predefinito. In caso di perdita, l'aria fuoriesce dall'oggetto del test.
Questo allestimento ripristina continuamente il flusso di gas per la compensazione dell'aria persa, mantenendo così la pressione. Il flusso di gas rifornito passa dal serbatoio attraverso un sensore appositamente progettato, il sensore Micro-Flow. Questo sensore è dotato di una tecnologia brevettata che amplifica il segnale, consentendo di misurare anche tassi di perdita molto bassi fino a 5 · 10-4 mbar · l/s.
Questa tecnologia è non distruttiva, lasciando l'oggetto del test intatto. Fornisce risultati quantitativi senza la necessità di una calibrazione quotidiana, rendendolo altamente affidabile ed efficiente per varie applicazioni industriali.
Anche il metodo dell'estrazione di massa utilizza il sensore Micro-Flow, ma viene eseguito sotto vuoto. Ciò si traduce in un limite di riconoscimento migliorato e garantisce che he non vi sia alcun trasferimento di calore dovuto all'effetto isolante del vuoto.
Nella prima fase dell'estrazione di massa, l'unità di test viene posizionata in una camera per vuoto. Questa camera è collegata al rilevatore di perdite, che contiene il sensore Micro-Flow e un serbatoio dell'aria. La camera viene quindi evacuata. Il tasso di perdita dell'unità di test è determinato dal flusso proveniente dal serbatoio verso l'unità di test. Con questo metodo, si può ottenere un limite di riconoscimento fino a 7 · 10-7 mbar · l/s e possono essere rilevati difetti fino a 1 μm.
Il test con spruzzo e la rilevazione di perdite mediante sniffing sono i due test di rilevazione delle perdite più comuni che utilizzano i gas traccianti elio o idrogeno.
Il test con spray è il metodo di prova ideale per i componenti sottovuoto. Tra tutti i metodi disponibili, questo principio di misura presenta la sensibilità più elevata. L'elio o l'idrogeno vengono spruzzati sulla superficie esterna dell'oggetto in prova. In caso di perdita, le molecole in entrata vengono aspirate dalla pompa per vuoto turbomolecolare insieme alla pompa per vuoto iniziale per finire dentro un analizzatore cellulare, dove viene rilevato il gas tracciante.
La rilevazione di perdite mediante sniffing è il metodo ideale per i componenti sotto pressione. Un oggetto in prova viene pressurizzato con elio o idrogeno. Una sonda sniffer, collegata al rilevatore di perdite, viene quindi spostata lentamente e sistematicamente sull'oggetto. In caso di perdita, vengono rilevati gli atomi di gas tracciante che fuoriescono e la perdita può essere localizzata con precisione.
La rivelazione di perdite qualitativa determina solo la presenza o meno di una perdita nell'oggetto del test. Ciò è possibile già a partire da una pressione in aspirazione di 100 mbar con la serie di prodotti ASM. Man mano che la pressione in aspirazione diminuisce, generalmente a 25 mbar, i rilevatori di perdite non sono solo in grado di rilevare le perdite ma anche di stabilirne la dimensione. Si tratta della cosiddetta rivelazione di perdite quantitative.
In un test di decadimento della pressione, un accumulatore di pressione viene riempito di aria fino a raggiungere una pressione target. Quindi la perdita (decadimento) di tale pressione viene misurata in un determinato periodo di tempo.
Esistono diversi tipi di test delle perdite di vuoto. Ad esempio, dispositivi specializzati come i nostri rilevatori di perdite ASM e ASI possono condurre due tipi di test utilizzando come gas tracciante sia elio che idrogeno per la rilevazione. In alternativa, la nostra serie di rilevatori di perdite ad aria può rilevare le perdite utilizzando la nostra innovativa tecnologia Micro-Flow.
Il test delle perdite sotto vuoto offre risultati più rapidi rispetto al test del decadimento di pressione ed è anche meno sensibile a fattori esterni come le variazioni di temperatura. I risultati sono anche più accurati.
Sia il test con spray che la rilevazione di perdite mediante sniffing sono metodi che utilizzano gas tracciante. Il test con spray è il metodo di prova ideale per i componenti sottovuoto. La prima fase è quella di spuzzare elio o idrogeno sulla superficie esterna dell'oggetto in prova. In caso di perdita, le molecole in entrata vengono aspirate dalla pompa per vuoto turbomolecolare integrata nel rilevatore di perdite insieme alla sua pompa per vuoto iniziale per finire dentro un analizzatore cellulare, dove vengono rilevati gli atomi del gas tracciante.
La rilevazione di perdite mediante sniffing è il metodo ideale per i componenti sotto pressione. Un oggetto in prova viene pressurizzato con elio o idrogeno. Una sonda sniffer, collegata a un rilevatore di perdite, viene quindi spostata lentamente e sistematicamente sull'oggetto. In caso di perdita, vengono rilevati gli atomi di gas tracciante che fuoriescono e la perdita può essere localizzata con precisione.
Entrambi i metodi di test sono facili da implementare e forniscono risultati accurati.
Il nostro sensore Micro-Flow rende i nostri rilevatori di perdite d'aria unici nel settore. Questo sensore di perdite di gas intelligente ha una sensibilità molto più elevata rispetto ai rilevatori di perdite d'aria convenzionali e può rilevare indici di perdita fino a 5 · 10-4 mbar · l/s. Inoltre, la velocità di test è più rapida rispetto ai metodi alternativi e può fornire risultati fino al 40% più rapidi rispetto all'utilizzo della caduta di pressione.
Il sensore Micro-Flow misura la quantità di aria che fluisce da un accumulatore di pressione per compensare la perdita d'aria dovuta a una perdita. Misurando questo flusso, nonché la pressione e la temperatura, può fornire un risultato numerico direttamente proporzionale all'indice di perdita e all'entità del difetto.
Poiché la misurazione viene effettuata direttamente dal flusso di perdita, Micro-Flow è minimamente influenzato da cambiamenti ambientali come la temperatura, riducendo notevolmente il numero di risultati falsi che possono verificarsi con altri metodi di test di tenuta. I flussometri alternativi, ad esempio, lavorano secondo il principio del trasferimento di temperatura, in cui viene misurata una variazione di temperatura in un determinato periodo di tempo per calcolare il flusso d'aria. Altri misurano i movimenti meccanici, dove il grado di movimento di un particolare componente, come una membrana, consente di calcolare il flusso.
Questa tecnologia è non distruttiva, lasciando l'oggetto del test intatto. Fornisce risultati quantitativi senza la necessità di una calibrazione quotidiana, rendendolo altamente affidabile ed efficiente per varie applicazioni industriali.
L'estrazione di massa è una tecnica aggiuntiva che utilizza il sensore Micro-Flow. Il principio di base è simile all'approccio Micro-Flow, ma per ottenere una maggiore sensibilità, il test viene eseguito sotto vuoto. Un'unità di test viene posizionata in una camera per vuoto. Questa camera è collegata al rilevatore di perdite, che contiene il sensore Micro-Flow, e a un serbatoio dell'aria. La camera viene quindi evacuata. Il tasso di perdita dell'unità di test è determinato dal flusso d'aria proveniente dal serbatoio verso l'unità di test. Con questo metodo, si possono rilevare indici di perdita fino a 7·10-7 mbar l/s (<1 μm).
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