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Svizzera

Camere per Vuoto

Camere per vuoto standard e personalizzate per la ricerca e la produzione avanzata

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Le nostre camere per vuoto standard, modulari e completamente personalizzate sono realizzate in acciaio inossidabile e leghe speciali. Progettate per applicazioni di medio vuoto, alto vuoto e vuoto ultra alto (UHV), trovano la loro massima espressione nell'essiccazione, nei processi plasma e negli studi di superficie.

Camere per vuoto: da medio vuoto a vuoto ultra alto

Le camere per vuoto di Pfeiffer sono il cuore di qualsiasi sistema per vuoto. Che in un processo sia richiesto vuoto basso, medio, alto o ultra alto, le nostre camere soddisfano i più elevati requisiti tecnici e ingegneristici. I nostri esperti si occupano della progettazione in considerazione delle esigenze dei singoli processi dei nostri clienti, con i quali intrattengono una stretta collaborazione.

Le nostre camere possono anche essere progettate, prodotte e sottoposte a test come camere a pressione per una sovrappressione superiore a 500 hPa (mbar), in conformità alla Direttiva sulle attrezzature a pressione (2014/268/UE).

Camere per vuoto standard

La nostra gamma di camere per vuoto standard offre una rapida disponibilità e un'alternativa conveniente alle progettazioni personalizzate.

Grazie alla combinazione di corpi di base standardizzati con porte della camera, flange e altri componenti a libera scelta, siamo in grado di creare una camera su misura per la vostra applicazione.
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    Camere per medio vuoto

    Operative a pressioni comprese tra 10⁻¹ e 10⁻³ bar (mbar), adatte per un'ampia gamma di applicazioni industriali come test di tenuta o imballaggio.

    Ulteriori informazioni
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    Camere per alto vuoto

    Operative a pressioni comprese tra 10⁻³ e 10⁻⁷ hPa, in genere utilizzando pompe per vuoto a diffusione o turbomolecolari.

    Ulteriori informazioni
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    Camere per vuoto ultra alto

    Progettate per funzionare a pressioni inferiori a 10⁻⁷ hPa, in genere utilizzate nella ricerca e in altre applicazioni di UHV.

    Ulteriori informazioni
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    Camere per vuoto modulari

    Personalizzabili per consentire la modifica della taglia e della configurazione per esperimenti o processi specifici.

    Ulteriori informazioni
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    Camere per spettrometri di massa

    Progettate per mantenere il vuoto ultra alto, garantendo l'accuratezza della ionizzazione e del rilevamento ionico.

    Ulteriori informazioni

Camere per medio vuoto

Progettate per condizioni di vuoto da 1000 hPa a una pressione assoluta nominale fino a 10⁻³ hPa (mbar) per un'ampia gamma di applicazioni industriali.

Esempi di applicazioni industriali che spaziano dall'intervallo di vuoto grossolano fino alla pressione atmosferica sono l'essiccazione a vuoto, l'imballaggio, il degassaggio e svariate attività di ricerca chenon richiedono condizioni di vuoto ultra alto o alto.

Con una progettazione che combina robustezza ed efficienza dei costi, queste camere sono diventate una scelta pratica per università, impianti pilota e ambienti industriali generali.
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Camere per alto vuoto

Le camere per alto vuoto forniscono ambienti di vuoto stabili fino a circa 10⁻⁷ Pa, creando le condizioni necessarie per processi come il trattamento al plasma, ilrivestimento a film sottile e il controllo analitico.

.Le nostre camere per alto vuoto possono essere dotate di flange ISO-KF, ISO-K, ISO-F o CF. Sono disponibili viewport per l'osservazione diretta dei processi in esecuzione. Progettate per ridurre al minimo la contaminazione, accelerare la messa in vuoto e semplificare la manutenzione, queste camere per vuoto sono ideali per la produzione e le applicazioni di R&D avanzate in cuinon è necessario l'UHV.
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Camere per vuoto ultra alto (UHV)

Essenziali nelle applicazioni scientifiche, industriali e dei semiconduttori, in cui sono necessarie pressioni inferiori a 10⁻⁷ hPa.

Le applicazioni per vuoto ultra alto sono sensibili anche a quantità minime di gas residui. Le camere per UHVforniscono le condizioni di vuoto necessarie per questi esperimenti. Realizzate in acciaio inossidabile riscaldabile e dotate di flange a tenuta di metallo CF, le camere UHV garantiscono un degassamento minimo e stabilità a lungo termine per applicazioni nella scienza delle superfici, nella fisica delle particelle, nella nanotecnologia e nella ricerca sui semiconduttori di nuova generazione.
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Camere per vuoto modulari

Personalizzabili per consentire modifiche di taglia e configurazione per processi specifici. Le camere per vuoto modulari sono caratterizzate da un design flessibile. Costruite con blocchi costruttivi standardizzati, la taglia della camera, le porte e le flange possono essere personalizzate per soddisfare i requisiti specifici dei singoli processi industriali o di ricerca.

Questo approccio progettuale riduce i tempi di consegna e i costi rispetto a progettazioni completamente personalizzate, pur fornendo le prestazioni necessari per applicazioni esigenti, come il rivestimento, la deposizione a film sottile o la rilevazione di perdite.
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Camere per vuoto per spettrometri di massa

Progettate per mantenere il vuoto ultra alto, garantendo l'accuratezza di ionizzazione e rilevamento ioni.

La spettrometria di massa richiede condizioni di vuoto precise, pulite e stabili e le nostre camere per spettrometri di massa sono progettate per soddisfare esigenze di questo tipo. Riducono al minimo il rumore di fondo e la contaminazione, fornendo al contempo porte affidabili per sorgenti ioniche, rilevatori e pompe per vuoto.

Con ingombri compatti e porte personalizzabili, siintegrano perfettamente nei sistemi analitici, consentendo di ottenere risultati di misurazione accurati e riproducibili sia nei laboratori che negli ambienti industriali.
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Soluzioni con camera per vuoto personalizzata

Non tutti i processi si adattano a una camera standard pronta all'uso. Ecco perché noi progettiamo ogni camera in modo da soddisfare esattamente le vostre esigenze. La taglia , la geometria , il materiale e il livello di vuoto sono tutti personalizzati in base alla vostra applicazione. Ove necessario, possiamo anche creare collettori UHV abbinati per una distribuzione precisa del vuoto e del gas.

I clienti possono scegliere:

  • Materiale: acciaio inossidabile o leghe speciali (ad es. alluminio)
  • Viewport CF per UHV
  • Raffreddamento e riscaldamento
  • Assemblaggio camera bianca
  • Documentazione completa
  • Finitura superficiale avanzata (molitura, elettrolucidatura)
  • Telaio componenti
  • Test di accettazione in fabbrica
  • Accessori come passaggi elettrici, manipolatori del vuoto, valvole

Costruiamo il vostro sistema in-house e completiamo il processo con test di tenuta dell'elio completi. Su richiesta, possiamo anche fornire un sistema per vuoto completo, incluse pompe per vuoto, strumenti di misura del vuoto, componenti e valvole.

Contattare i nostri esperti
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FAQ

Cos'è una camera per vuoto?

Una camera per vuoto è un serbatoio sigillato dal quale vengono rimossi aria e gas per creare un ambiente a bassa pressione controllata.

Una camera siffatta fornisce le condizioni di pulizia e stabilità necessarie per processi come il rivestimento a film sottile, la produzione di semiconduttori, la simulazione spaziale, la scienza analitica e gli esperimenti di ricerca.

A seconda della progettazione, le camere per vuoto possono fornire condizioni di medio vuoto, alto vuoto o vuoto ultra alto (UHV). Sono generalmente realizzate in acciaio inossidabile o altri materiali, come leleghe di alluminio.

Qual è la differenza tra una camera per vuoto e un serbatoio di vuoto?

Non c'è differenza: i termini serbatoio di vuoto e camera per vuoto vengono utilizzati in modo intercambiabile per descrivere un serbatoio sigillato dal quale vengono rimossi gas e aria per creare un ambiente a bassa pressione.

Quali sono gli intervalli del vuoto coperti dalle camere di Pfeiffer?

Le nostre camere per vuoto sono disponibili per applicazioni a medio vuoto, alto vuoto e vuoto ultra alto (UHV).

  • Le camere per medio vuoto forniscono ambienti controllati nell'intervallo di alto vuoto. Sono ideali per applicazioni come l'essiccazione a vuoto, l'imballaggio, il degassaggio e determinate attività di ricerca chenon richiedono condizioni di vuoto ultra alto.
  • Le camere per alto vuoto assicurano ambienti stabili a pressioni fino a circa 10⁻⁷ hPa (mbar), fornendo supporto a processi come il trattamento al plasma, il rivestimento a film sottile e il controllo analitico.
  • Le camere per vuoto ultra alto raggiungono pressioni inferiori a 10⁻7 hPa (mbar) per esperimenti in cui anche minime quantità di gas residui influenzano negativamente i risultati. Utilizzando flange in acciaio inossidabile e CF riscaldabili, queste camere per vuoto riducono al minimo il degassamento e offrono stabilità a lungo termine per applicazioni come la scienza delle superfici, la fisica delle particelle, la nanotecnologia e la ricerca di nuova generazione sui semiconduttori.

Perché l'acciaio inossidabile è il materiale da preferirsi per le camere per vuoto?

L'acciaio inossidabile è il materiale da preferirsi per le camere per vuoto perché è resistente alla corrosione, può essere cotto a temperature elevate e mantiene indici di perdita e permeazione estremamente bassi.

Quali tipi di trattamento superficiale e finitura si possono eseguire in una camera per vuoto?

È possibile applicare diversi trattamenti superficiali e finiture per ottenere la pulizia, la levigatezza e la resistenza chimicanecessarie in una camera per vuoto per una particolare applicazione.

Le imperfezioni minori possono essere rimosse mediante sabbiatura con microsfere di vetro; si crea così una texture uniforme. La molitura viene utilizzata per eliminare le irregolarità e ottenere una finitura uniforme. Processi chimici come l'immersione in acido e la passivazione sono di supporto nella pulizia. Per le applicazioni UHV, per ottenere una superficie levigatissima e senza contaminanti si ricorre all' elettrolucidatura. Infine, la pulizia anodica può favorire la stabilizzazione e rimuovere i contaminanti.

Come scegliere il materiale giusto per la camera per vuoto

La scelta del materiale dipende dai requisiti dell'applicazione. L'acciaio inossidabile è ideale per le applicazioni UHV grazie al suo basso degassaggio e alla capacità di resistere alla cottura, mentre l'alluminio è preferibile quando è necessaria una camera di cottura di peso leggero.

Tipo di camera
Ottimale per
Vantaggi principali
Restrizioni
Acciaio inossidabile
  • Sostenibilità
  • Possibilità di cottura
  • Costi elevati
Alluminio
Configurazioni di peso leggero come prototipi e sistemi trasportabili o modulari
  • Leggera
  • Permeabilità magnetica relativa
  • Costi elevati
  • Richiede tecniche di saldatura speciali

Non siete sicuri di quale sia la soluzione migliore per le vostre esigenze?
Parlate con i nostri esperti

Come progettare una camera per vuoto ultra alto

Una camera per vuoto ultra alto richiede generalmente un'attenta considerazione dei seguenti aspetti critici:

  • Scelta del materiale: L'acciaio inossidabile austenitico è preferibile per il suo basso contenuto di gas e l'elevata resistenza alla corrosione.
  • Gestione termica: tutti i materiali, compresi quelli dei singoli componenti, devono resistere alle temperature di cottura per ridurre al minimo il degassamento. L'acciaio inossidabile si abbina bene al rame, poiché i loro indici di espansione termica sono simili, mentre l'alluminio presenta maggiori restrizioni, in particolare a temperature elevate.
  • Saldatura e fabbricazione: le saldature interne sono preferibili per evitare perdite virtuali, mentre si devono evitare saldature doppie in quanto possono trattenere i gas. Nella progettazione si devono inoltre ridurre al minimo i fori ciechi e le superfici rugose.
  • Processo di pulizia: la preparazione finale spesso include un bagno a ultrasuoni, un risciacquo con acqua demineralizzata e ricottura sotto vuoto. Insieme, garantiscono una contaminazione minima.

Inoltre, è essenziale controllare i flussi di gas tracciante durante il test di tenuta. L'impiego di condotti del gas corti, pistole a spruzzo per elio e riduttori a doppio stadio contribuiscono a garantire l'accuratezza e a ridurre al minimo le perdite.

Scoprite di più sulla generazione di vuoto ultra altoo sulla progettazione delle camere a vuoto.

Quali forme possono essere integrate nelle camere per vuoto di Pfeiffer?

Le camere per vuoto possono essere prodotte in una varietà di forme e geometrie per adattarsi al processo. I design standard includono camere cilindriche (orizzontali o verticali), cubiche e rettangolari, disponibili in diversi diametri e lunghezze.

Per configurazioni specializzate, costruiamo anche geometrie personalizzate con l'aggiunta di porte, cupole o geometrie ibride. Questa flessibilità garantisce un ambiente di vuoto ottimizzato, sia che si tratti di applicazioni per semiconduttori, rivestimento, simulazione spaziale o ricerca analitica.

Che cos'è il degassamento in una camera per vuoto e come lo riducono le camere di Pfeiffer?

Il degassamento è il rilascio di gas o vapori intrappolati dai materiali all'interno di una camera, che possono limitare i livelli di vuoto raggiungibili.

Le camere per vuoto di Pfeiffer sono generalmente realizzate in acciaio inossidabile e possono essere elettrolucidate, passivate chimicamente e ricotte sotto vuoto, al fine di ridurre al minimo il degassamento e garantire prestazioni stabili a lungo termine.

Le camere per vuoto di Pfeiffer possono essere personalizzate per la mia applicazione?

Sì. Pfeiffer offre soluzioni personalizzate per camere per vuoto, incluse taglie non standard, leghe speciali, porte trasparenti per la camera, raffreddamento ad acqua o riscaldamento (piastra cuscino), camicie di riscaldamento, assemblaggio in camera bianca e integrazione con pompe per vuoto, misuratori e rilevatori di perdite della nostra gamma.

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Che cos'è una piastra cuscino?

Una piastra cuscino è una piastra completamente saldata composta da due lamiere metalliche sovrapposte unite da una saldatura lungo i bordi e da un reticolo interno. Dopo la saldatura, la piastra viene gonfiata idraulicamente per generare uno spazio vuoto tra le lamiere, consentendo la circolazione di un liquido di riscaldamento o di raffreddamento. La struttura cava e gonfia conferisce alle piastre cuscino leggerezza, stabilità e sostenibilità.

Le piastre cuscino hanno due scopi principali:

1. Aiutano a raggiungere rapidamente le condizioni di vuoto richieste, poiché consentono di raggiungere la temperatura ottimale all'interno della camera, e quindi determinate condizioni vantaggiose.
Il riscaldamento delle pareti della camera accelera il desorbimento dei gas residui. Il raffreddamento può essere utilizzato per ridurre il degassamento e stabilizzare il processo una volta raggiunta la pressione di base.

2. Forniscono una temperatura stabile e uniforme in tutta la camera, riducendo al minimo l'effetto della temperatura ambiente sul processo. Ciò è particolarmente importante per le applicazioni sensibili alla temperatura, come i processi ottici. Ciò contribuisce anche a migliorare l'efficienza energetica, poiché le fluttuazioni della temperatura vengono ridotte e quindi non è necessaria alcuna compensazione.

Quali vantaggi offrono le camere per vuoto di Pfeiffer?

Con le nostre camere per vuoto di alta qualità per la produzione individuale e in serie, forniamo una tecnologia del vuoto su misura per applicazioni esigenti.

Pfeiffer fornisce tutti i componenti del processo da un'unica fonte, compresi la consulenza sulle applicazioni, la progettazione, la produzione, la garanzia di qualità, l'assemblaggio e l'assistenza in loco.

Vantaggi chiave delle nostre camere per vuoto:

  • Tecnologia di saldatura all'avanguardia:
    • Saldatrici di precisione per tutti i tipi di metalli
    • Saldatura laser e laser orbitale in una sala separata (sala grigia)
    • Saldatura laser fino a 8 kW per una saldatura più rapida e profondità maggiori (fino a 16 mm)
    • Lo spessore del materiale varia da 0,1 mm a circa 20 mm: da molto sottile a spesso
  • Controllo qualità completo:
    • Test di tenuta di tutte le camere per vuoto prodotte
    • Analisi del gas residuo opzionale per garantire la massima integrità del vuoto
    • Tecnologia olistica e controllo del processo per la saldatura di prodotti sotto vuoto
  • Soluzioni del vuoto flessibili:
    • Camere e componenti per vuoto di dimensioni fino a 3.000 mm x 2.000 mm x 2.000 mm
    • Adattabili ai requisiti tecnici specifici del cliente
    • Opzioni di apparecchiature flessibili su misura rispetto alle vostre esigenze
    • Per vuoto da medio a ultra alto
  • Assistenza completa da un'unica fonte:
    • Consulenza, pianificazione e produzione personalizzate
    • Assemblaggio e avviamento in loco
    • Pacchetto completo per la massima efficienza

Le camere per vuoto di Pfeiffer sono costruite secondo un sistema di qualità certificato?

Sì, le camere per vuoto Pfeiffer sono prodotte secondo un sistema di qualità certificato. Inoltre, sono conformi agli standard internazionali.

Le nostre certificazioni in breve:

  • Sistema di gestione della qualità: ISO 9001 - con processi documentati e tracciabilità completa
  • Produttore di apparecchiature per la saldatura: DIN EN ISO 3834-2 - Requisiti di qualità completi per la saldatura a fusione di materiali metallici
  • Qualità del cordone di saldatura: DIN EN ISO 5817 - Livelli di qualità di saldatura standardizzati
  • Produttore di serbatoi a pressione: AD 2000-Merkblatt HP0 - Norme approvate per apparecchiature a pressione
  • Qualifica del saldatore: DIN EN ISO 9606-1 - Test per saldatori certificati
  • Qualifica operativa: DIN EN ISO 14732 - Certificazione operatore per sistemi di saldatura automatizzati
  • Certificazione test visivo: VT1
  • Certificazioni per rilevamento perdite di elio: LT1 / LT2ö

Con queste certificazioni, Pfeiffer garantisce che ogni camera per vuoto soddisfi rigorosi standard tecnici di sicurezza, affidabilità e prestazioni durature.