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Cámaras de vacío

Cámaras de vacío estándar y personalizadas para investigación y fabricación avanzadas

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Nuestras cámaras de vacío estándar, modulares y totalmente personalizadas están fabricadas de acero inoxidable y aleaciones especiales. Diseñadas para aplicaciones de vacío medio, alto vacío y ultra vacío (UHV), se destacan en el secado, los procesos de plasma y estudios de superficies.

Cámaras de vacío para vacío medio y ultra vacío

Las cámaras de vacío de Pfeiffer son el corazón de todo sistema de vacío. Ya sea que un proceso requiera vacío bajo, medio, alto o ultra vacío, nuestras cámaras cumplen con los requisitos técnicos y de ingeniería más exigentes. Nuestros expertos las diseñan en estrecha colaboración con nuestros clientes de acuerdo con las necesidades de sus procesos individuales.

Nuestras cámaras también se pueden diseñar, fabricar y someter a pruebas como cámaras de presión para una sobrepresión superior a 500 hPa (mbar) de acuerdo con la Directiva sobre equipos a presión (2014/268/UE).

Cámaras de vacío estándar

Cámaras de vacío a medida

Conocimientos

Cámaras de vacío estándar

Nuestra gama de cámaras de vacío estándar brinda una disponibilidad rápida y una alternativa rentable a los diseños personalizados.

Mediante la combinación de cuerpos básicos estandarizados con puertos de cámara, bridas y otros componentes libremente seleccionables, creamos una cámara hecha a medida para su aplicación.
  • medium_vacuum_chambers

    Cámaras de vacío medio

    Funcionan a presiones entre 10⁻¹ to 10⁻³ bar (mbar), adecuadas para una amplia gama de aplicaciones industriales como el test de fugas o el envasado.

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    Cámaras de alto vacío

    Funcionan a presiones entre 10−³ y 10−⁷ hPa, generalmente con bombas de vacío difusoras o turbomoleculares.

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    Cámaras de ultra vacío

    Diseñadas para funcionar a presiones inferiores a 10−⁷ hPa, normalmente utilizadas para la investigación y otras aplicaciones UHV.

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    Cámaras de vacío modulares

    Personalizables para permitir la modificación del tamaño y la configuración para experimentos o procesos específicos.

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    Cámaras para espectrómetros de masas

    Diseñadas para mantener el ultra vacío y garantizar la precisión de la ionización y la detección de iones.

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Cámaras de vacío medio

Diseñadas para condiciones de vacío desde 1000 hPa hasta un vacío límite de hasta 10−³ hPa (mbar) para una amplia gama de aplicaciones industriales.

Algunos ejemplos de aplicaciones desde el rango de vacío pobre hasta la atmósfera en la industria son el secado por vacío, el envasado, la desgasificación y una variedad de tareas de investigación que no requieren condiciones de alto o ultra vacío.

Con un diseño que combina robustez y rentabilidad, estas cámaras se han convertido en una opción práctica para universidades, plantas piloto y entornos industriales en general.
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Cámaras de alto vacío

Las cámaras de alto vacío proporcionan entornos de vacío estables de hasta aproximadamente 10⁻⁷ Pa, creando la condición necesaria para procesos como el tratamiento con plasma, el recubrimiento con película fina y el control analítico.

Nuestras cámaras de alto vacío pueden equiparse con bridas ISO-KF, ISO-K, ISO-F o CF. Los viewports están disponibles para la observación directa de los procesos en ejecución. Diseñadas para minimizar la contaminación, acelerar la evacuación y simplificar el mantenimiento, estas cámaras de vacío son ideales para la fabricación y aplicaciones avanzadas de I+D en las queno se requiere UHV.
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Cámaras de ultra vacío (UHV)

Esenciales en aplicaciones científicas, industriales y de semiconductores en las que se requieren presiones inferiores a 10⁻⁷ Pa.

Las aplicaciones de ultra vacío son sensibles incluso a los gases trazadores. Las cámarasde ultra vacío proporcionan la condición de vacío necesaria para estos experimentos. Fabricadas con acero inoxidable horneable y equipadas con bridas selladas con metal CF, las cámaras de ultra vacío garantizan una desgasificación mínima y estabilidad a largo plazo para aplicaciones en la ciencia de superficies, física de partículas, nanotecnología e investigación de semiconductores de última generación.
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Cámaras de vacío modulares

Personalizables para permitir modificaciones del tamaño y la configuración para procesos específicos. El diseño de las cámaras de vacío modulares se basa en la flexibilidad. Construidas a partir de bloques de construcción estandarizados, su tamaño de cámara, puertos y bridas se pueden adaptar a los requisitos específicos de la investigación individual o los procesos industriales.

Este enfoque de diseño reduce los plazos de entrega y los costes en comparación con los diseños totalmente personalizados, a la vez que proporciona el rendimiento necesario para aplicaciones exigentes como el recubrimiento, la deposición de película fina o la detección de fugas.
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Cámaras vacío para espectrómetros de masas

Diseñadas para mantener el ultra vacío y garantizar la ionización y la detección de iones precisas.

La espectrometría de masas requiere una condición de vacío precisa, limpia y estable, y nuestras cámaras para espectrómetros de masas están diseñadas para satisfacer esa demanda. Minimizan el ruido de fondo y la contaminación a la vez que proporcionan puertos fiables para fuentes de iones, detectores y bombas de vacío.

Con un tamaño compacto y puertos personalizables, seintegran a la perfección en los sistemas analíticos, lo que permite obtener resultados de medición precisos y reproducibles tanto en laboratorios como en entornos industriales.
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Soluciones de cámara de vacío a medida

No todos los procesos se adaptan a una cámara estándar lista para usar. Por eso, el diseño de cada cámara se adapta exactamente a sus necesidades. El tamaño , la geometría, el materialy el nivel de vacío se adaptan a su aplicación. Donde sea necesario, también podemos crear colectores de ultra vacío a juego para una distribución precisa del vacío y el gas.

Los clientes pueden elegir:

  • Material: acero inoxidable o aleaciones especiales (por ejemplo, aluminio)
  • Viewport CF para ultra vacío
  • Refrigeración y calefacción
  • Montaje en cleanroom
  • Documentación completa
  • Acabado de superficie avanzado (amolado, electropulido)
  • Componente rack
  • Prueba de aceptación en fábrica
  • Accesorios como pasamuros de alimentación eléctrica, manipuladores de vacío y válvulas

Fabricamos su sistema internamente y completamos el proceso con amplios tests de fugas de helio. A pedido, también podemos suministrar un sistema de vacío completo, que incluye bombas de vacío , equipos de medición de vacío, componentes y válvulas.

Póngase en contacto con nuestros expertos
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Preguntas frecuentes

¿Qué es una cámara de vacío?

Una cámara de vacío es un depósito sellado del que se eliminan el aire y los gases para crear un entorno de baja presión controlado.

Esto proporciona las condiciones limpias y estables necesarias para procesos como el recubrimiento con película fina , la fabricación de semiconductores , la simulación espacial , la ciencia analíticay los experimentos de investigación.

En función del diseño, las cámaras de vacío pueden proporcionar condiciones de vacío medio, alto vacío o ultra vacío (UHV). Por lo general, están fabricadas de acero inoxidable u otros materiales, como aleaciones de aluminio.

¿Cuál es la diferencia entre una cámara de vacío y un depósito de vacío?

No hay diferencia: los términos depósito de vacío y cámara de vacío se utilizan indistintamente para describir un depósito sellado del que se eliminan los gases y el aire para crear un entorno de baja presión.

¿Qué niveles de vacío cubren las cámaras de Pfeiffer?

Nuestras cámaras de vacío están disponibles para aplicaciones de vacío medio, altoy ultra vacío (UHV).

  • Las cámaras de vacío medio proporcionan entornos controlados en el nivel de vacío preliminar a alto vacío. Son muy adecuadas para aplicaciones como el secado por vacío, el envasado, la desgasificación y determinadas tareas de investigación que no requieren alto o ultra vacío.
  • Las cámaras de alto vacío proporcionan entornos estables de hasta aproximadamente 10 −⁷ hPa (mbar), soportando procesos como el tratamiento con plasma , el recubrimiento con película finay el control analítico.
  • Las cámaras de ultra vacío alcanzan presiones inferiores a 10⁻7 hPa (mbar) para experimentos en los que incluso los gases trazadores influyen negativamente en los resultados. Mediante el uso de bridas de acero inoxidable y CF horneables, estas cámaras de vacío minimizan la desgasificación y ofrecen estabilidad a largo plazo para la ciencia de superficies, la física de partículas, la nanotecnología y la investigación de semiconductores de última generación.

¿Por qué el acero inoxidable es el material preferido para las cámaras de vacío?

El acero inoxidable es el material preferido para las cámaras de vacío porque es anticorrosión, se puede hornear a altas temperaturas y mantiene tasas de fuga y permeabilidad extremadamente bajas.

¿Qué tipos de tratamiento de superficie y acabado son posibles para una cámara de vacío?

Se pueden aplicar varios tratamientos de superficie y acabados para lograr la limpieza, suavidad y resistencia química necesarias en una cámara de vacío para una aplicación concreta.

Las imperfecciones menores se pueden eliminar mediante granallado de vidrio, que crea una textura uniforme. El amolado se utiliza para eliminar las irregularidades y lograr un acabado uniforme. Los procesos químicos como la inmersión ácida y la pasivación ayudan en la limpieza. Para las aplicaciones UHV, se emplea el electropulido para producir una superficie ultrasuave y sin contaminantes. Por último, la limpieza anódica puede estabilizar y eliminar aún más los contaminantes.

Cómo elegir el material adecuado para su cámara de vacío

La elección del material depende de los requisitos de la aplicación. El acero inoxidable es ideal para aplicaciones de ultra vacío debido a su baja desgasificación y capacidad para soportar el horneado, mientras que el aluminio es preferible cuando se necesita una cámara de peso reducido.

Tipo de cámara
Producto ideal para
Ventajas clave
Restricciones
Acero inoxidable
  • Duraderas
  • Horneable
  • Costes elevados
Aluminio
Configuraciones de peso reducido como prototipos y sistemas transportables o modulares
  • Sencillo
  • Permeabilidad magnética relativa
  • Costes elevados
  • Requiere técnicas de soldadura especiales

¿No está seguro de qué es lo que mejor se adapta a sus necesidades?
Hable con nuestros expertos

Cómo diseñar una cámara de ultra vacío

Una cámara de ultra vacío suele requerir una consideración cuidadosa de los siguientes aspectos críticos:

  • Elección del material: se prefiere el acero inoxidable austenítico debido a su bajo contenido de gas y su alta resistencia a la corrosión.
  • Gestión térmica: todos los materiales, incluidos aquellos de componentes individuales deben soportar las temperaturas de horneado para minimizar la desgasificación. El acero inoxidable combina bien con el cobre debido a sus tasas de expansión térmica similares, mientras que el aluminio es más limitado, sobre todo a altas temperaturas.
  • Soldadura y fabricación: se prefieren las soldaduras internas para evitar fugas virtuales, mientras que deben evitarse las soldaduras dobles, ya que pueden atrapar gases. El diseño también debe minimizar los agujeros ciegos y las superficies rugosas.
  • Proceso de limpieza: la preparación final a menudo incluye un baño ultrasónico, enjuague con agua desmineralizada y recocido al vacío. Juntos, garantizan una contaminación mínima.

Además, es esencial el control de los caudales de gas trazador durante el test de fugas. Herramientas como tuberías de gas cortas, pistolas de pulverización de helio y reductores de doble etapa ayudan a mantener la precisión y minimizar las fugas.

Obtenga más información sobre la generación de ultra vacío.

¿Qué formas se pueden incorporar en las cámaras de vacío de Pfeiffer?

Las cámaras de vacío se pueden fabricar en una variedad de formas y geometrías para adaptarse al proceso. Los diseños estándar incluyen cámaras cilíndricas (horizontales o verticales), cúbicas y rectangulares, disponibles en múltiples diámetros y longitudes.

Para configuraciones especializadas, también creamos geometrías a medida con puertos, domos o formas híbridas añadidos. Esta flexibilidad garantiza un entorno de vacío optimizado, ya sea en aplicaciones de semiconductores, recubrimientos, simulación espacial o investigación analítica.

¿Qué es la desgasificación en una cámara de vacío y cómo la reducen las cámaras de Pfeiffer?

La desgasificación es la liberación de gases o vapores atrapados de materiales dentro de una cámara, lo que puede restringir el nivel de vacío alcanzable.

Las cámaras de vacío de Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions suelen estar hechas de acero inoxidable y pueden ser electropulidas, pasivadas químicamente y recocidas al vacío para minimizar la desgasificación y garantizar un rendimiento estable a largo plazo.

¿Se pueden fabricar a medida las cámaras de vacío de Pfeiffer para mi aplicación?

Sí. Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions ofrece soluciones de cámara de vacío a medida, incluidos tamaños no estándar, aleaciones especiales y puertas de cámara transparentes, refrigeración por agua o calefacción (placa de cojín), camisas de calefacción, montaje en cleanroom e integración con bombas de vacío, medidores y detectores de fugas de nuestra propia gama.

Póngase en contacto con nosotros

¿Qué es una placa de almohadilla?

Una placa de almohadilla es una placa totalmente soldada que consta de dos chapas metálicas superpuestas unidas por una soldadura a lo largo de los bordes y un patrón de puntos interno. Después de la soldadura, la placa se infla hidráulicamente para generar un espacio hueco entre las chapas, lo que permite la circulación de un líquido de calefacción o refrigerante. La estructura hueca e inflada hace que las placas de almohadilla sean ligeras, estables y duraderas.

Las placas de almohadilla tienen dos propósitos principales:

1. Ayudan a alcanzar rápidamente la condición de vacío requerida, ya que permiten alcanzar la temperatura óptima dentro de la cámara y, por lo tanto, determinadas condiciones beneficiosas.
La calefacción de las paredes de la cámara acelera la desorción de los gases residuales. La refrigeración se puede utilizar para reducir la desgasificación y estabilizar los procesos una vez alcanzada la presión base.

2. Proporcionan una temperatura estable y uniforme en toda la cámara, minimizando el efecto de la temperatura ambiente en el proceso. Esto es especialmente importante en aplicaciones sensibles a la temperatura, como los procesos ópticos. Esto también ayuda a mejorar la eficiencia energética, ya que se reducen las fluctuaciones de temperatura y, por lo tanto, no es necesario compensarlas.

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¿Qué ventajas ofrecen las cámaras de vacío de Pfeiffer?

Con nuestras cámaras de vacío de alta calidad para la producción individual y en serie, ofrecemos una tecnología de vacío a medida para aplicaciones exigentes.

Pfeiffer proporciona todas las piezas del proceso desde una única fuente, incluidos el asesoramiento sobre aplicaciones, el diseño, la fabricación, el aseguramiento de la calidad, el montaje y el servicio in situ.

Ventajas clave de nuestras cámaras de vacío:

  • Tecnología de soldadura de última generación:
    • Máquinas de soldadura de precisión para todo tipo de metales
    • Soldadura por láser y láser orbital en una sala separada (sala gris)
    • Soldadura por láser con hasta 8 kW para una soldadura más rápida y mayores profundidades (hasta 16 mm)
    • El grosor del material va desde 0,1 mm hasta aproximadamente 20 mm, desde muy fino hasta grueso
  • Control de calidad exhaustivo:
    • Test de fugas de todas las cámaras de vacío fabricadas
    • Análisis de gases residuales opcional para garantizar la máxima integridad del vacío
    • Tecnología integral y control del proceso para la soldadura de productos al vacío
  • Soluciones flexibles de vacío:
    • Cámara de vacío y componentes de hasta 3.000 mm x 2.000 mm x 2.000 mm
    • Adaptables a los requisitos técnicos específicos del cliente
    • Opciones de equipos flexibles a la medida de sus necesidades
    • Para vacío medio a ultra vacío
  • Servicio completo de contratación una única fuente:
    • Asesoramiento, planificación y fabricación personalizados
    • Montaje y puesta en marcha in situ
    • Paquete de servicio completo para máxima eficiencia

¿Las cámaras de vacío de Pfeiffer se fabrican según un sistema de calidad certificado?

Sí, las cámaras de vacío de Pfeiffer se fabrican de acuerdo con un sistema de calidad certificado. Además, cumplen con las normas internacionales.

Resumen de nuestras certificaciones:

  • Sistema de gestión de calidad: ISO 9001, con procesos documentados y trazabilidad completa
  • Fabricante de soldadura: DIN EN ISO 3834-2 - Requisitos de calidad exhaustivos para la soldadura por fusión de materiales metálicos
  • Calidad del cordón de soldadura: DIN EN ISO 5817 - Niveles de calidad de soldadura normalizados
  • Fabricante de depósitos a presión: AD 2000-Hoja informativa HP0 - Normas homologadas para equipos a presión
  • Cualificación de soldador: DIN EN ISO 9606-1 - pruebas de soldador certificado
  • Cualificación operativa: DIN EN ISO 14732 - Certificación de operarios para sistemas de soldadura automatizados
  • Certificación de prueba visual: VT1
  • Certificaciones de detección de fugas de helio: LT1/LT2ö

Con estas certificaciones, Pfeiffer garantiza que cada cámara de vacío cumpla con estrictos estándares técnicos de seguridad, fiabilidad y rendimiento duradero.