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Válvulas de vacío

Esenciales para el diseño de un sistema de vacío

válvulas de vacío

Las válvulas de vacío desempeñan un papel crucial en el diseño y la funcionalidad de los sistemas de vacío, lo que garantiza un control preciso y fiabilidad en diversas industrias y aplicaciones de investigación.

Nuestra gama de válvulas incluye una amplia variedad de válvulas de control de presión y válvulas de cierre, disponibles con diferentes tipos de actuadores y bridas para satisfacer diversas necesidades operativas.

Tipos de válvulas de vacío

Los sistemas de vacío básicos constan de tres tipos principales de equipos: bombas de vacío, cámaras de vacíoy válvulas de vacío. La selección de las válvulas de vacío adecuadas es crucial para optimizar el rendimiento del sistema y la interacción de estos componentes principales.

Las válvulas de vacío se clasifican generalmente en dos categorías principales: válvulas de cierre y válvulas de regulación de presión.

Válvulas de cierre

Estas válvulas aíslan el caudal de gas y pueden accionarse de forma manual,neumáticao eléctrica. Ellas son cruciales para mantener la condición de vacío, ya que aíslan las secciones de un sistema de vacío.

Adecuadas para diversas aplicaciones, incluida la fabricación de semiconductores, I+D y los procesos industriales, las válvulas de cierre garantizan un sellado fiable y una eficiencia operativa.
  • hv_valve

    válvula de ángulo recto HV

    Ideales para sistemas de alto vacío en los que se da importancia a una baja desgasificación y a la resistencia a una alta presión diferencial.

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  • uhv_valve

    Válvulas de ángulo recto UHV

    Rendimiento fiable con emisiones de partículas reducidas y desgasificación mínima para aplicaciones de ultra vacío.

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  • mini_valve

    Válvulas mini angulares

    Especialmente adecuado para el sellado y la ventilación en aplicaciones con un tamaño más reducido.

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  • hv_gate_valves

    Válvulas de compuerta HV

    Altos valores de conductancia para flujos moleculares, ideales para alto vacío

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  • Válvula de péndulo HV

    Válvulas de péndulo HV

    Accionamiento suave y alta conductancia, ideales para aplicaciones con espacio limitado y la necesidad de un aislamiento de vacío fiable

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  • Válvula de compuerta UHV

    Válvulas de compuerta UHV

    Alta conductancia y sellado excelente, ideales para aplicaciones de ultra vacío

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  • Válvulas de bola

    Válvulas de bola

    Capaces de funcionar en procesos duros, adecuadas para aplicaciones que requieren un sellado y una durabilidad fiables

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  • inline_valves

    Válvulas en línea

    Caudal de gas eficiente y altas presiones diferenciales, ideales para aplicaciones industriales y de investigación

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  • Válvulas de purga de aire

    Válvulas de purga de aire

    Ventilación controlada de los sistemas de vacío a la presión atmosférica, esenciales para el mantenimiento seguro y las paradas del sistema

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  • Válvulas de diafragma

    Válvulas de diafragma

    Óptima para la condición de alto vacío

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  • válvulas de mariposa

    Válvulas de mariposa

    Ideales para aislar secciones de un sistema de vacío en aplicaciones de alto vacío

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Válvulas de regulación de presión

Los sistemas de control de presión constan de tres componentes esenciales: válvulas, controladores y medidores. La función principal de las válvulas es controlar la presión dentro de una cámara de vacío y el caudal de gas dentro de los sistemas de vacío.

Estas válvulas de control de presión son ideales para aplicaciones que exigen un control preciso del proceso, como las de la industria de semiconductores y para aplicaciones de recubrimientos.
  • gas_contol_valves

    Válvulas de control de gas

    Caudal de gas controlado con precisión por medio de un mecanismo de dosificación accionado por solenoide.

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  • gas_dosing_valve

    Válvulas dosificadoras de gas

    Caudal de gas y presión fiable y controlado en sistemas de vacío

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Actuadores

vacuum_valves_1
Las válvulas se pueden activar de varias maneras. Las

válvulas de cierre suelen accionarse manualmente con un volante o un mecanismo de apertura/cierre rápido, o neumáticamente con aire comprimido a sobrepresión.

Sin embargo, nuestras válvulas de cierre de la serie E funcionan mediante accionamiento eléctrico. Las válvulas de control de presión también se accionan eléctricamente mediante un motor.

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Accionamiento manual

Las válvulas manuales se pueden accionar sin electrónica mediante un volante o un mecanismo de cierre y apertura rápidos. Los

volantes proporcionan un control preciso y gradual para un funcionamiento suave, mientras que los mecanismos de apertura y cierre rápidos permiten un accionamiento rápido para un aislamiento rápido o situaciones de emergencia.

Accionamiento neumático

Las válvulas con accionamiento neumático requieren un suministro de sobrepresión libre de aceite. Esto se utiliza para mover un pistón interno que abre o cierra la válvula.

Accionamiento eléctrico

El accionamiento eléctrico utiliza motores para convertir la energía eléctrica en un movimiento mecánico preciso. Esto abre o cierra la válvula sin necesidad de sobrepresión.

Accionamiento electroneumático

Las válvulas con accionamiento electroneumático incluyen una válvula de accionamiento neumático con una electroválvula integrada para el control del suministro de sobrepresión.

Una electroválvula es una válvula controlada eléctricamente que se abre o cierra cuando se genera un campo magnético por una corriente eléctrica.

Esto permite accionar la válvula de forma remota mediante una señal eléctrica, combinando el movimiento rápido y fiable del accionamiento neumático con la comodidad y el control del interruptor electrónico.

Preguntas frecuentes

¿Qué es una válvula de vacío?

Una válvula de vacío es un componente mecánico que controla el caudal de gases dentro de un sistema de vacío.

Cada válvula tiene una función diferente: simplemente puede abrirse o cerrarse para iniciar o parar el caudal de gas, o puede controlar el caudal para ayudar a establecer o mantener un nivel de presión deseado. Algunos tipos de válvulas también pueden redirigir el gas, por ejemplo, ventilando una cámara de vacío con gas limpio y seco, para que el sistema vuelva a la presión atmosférica de forma segura o para que los componentes sensibles se protejan durante el apagado.

Las válvulas de vacío vienen en varias formas con diferentes métodos de accionamiento, incluidos diseñosmanuales, neumáticos y eléctricos.

Las válvulas de vacío se utilizan en combinación con bombas de vacío y cámaras de vacío. Son esenciales para un funcionamiento fiable y preciso en aplicaciones como la fabricación de semiconductores, el recubrimiento con película fina y en laboratorios de investigación.

¿Cuál es la diferencia entre los diferentes tipos de válvulas?

Cada tipo de válvula cumple una función específica dentro de un sistema de vacío.
La siguiente vista general destaca las características principales y los casos de uso para ayudarle a elegir la adecuada para su aplicación.

Tipo de válvula
Función típica
Ventajas clave
Aplicaciones habituales
Válvula de compuerta
Se abre y se cierra con una placa plana para aislar secciones
Conductancia muy alta, adecuada para alto y ultra vacío
Válvula de ángulo recto
Redirige el caudal de gas en 90° mediante un sellado, tapón y vástago
Diseño compacto adecuado para sistemas con restricciones en las tuberías que requieren un cambio en la dirección del caudal
Sistemas de vacío generales, instalaciones de I+D, todos los mercados
Válvula de mariposa
Disco rotativo para aislar o controlar el caudal
Ligero y de acción rápida
Válvula de bola
Control del caudal de encendido/apagado mediante una bola giratoria
Diseño robusto y compacto, accionamiento rápido
Sistemas industriales y automotrices, semiconductores
Válvula de diafragma
Control del caudal mediante una membrana flexible
Funcionamiento limpio, bajo riesgo de contaminación
Válvula de péndulo
Movimiento de sellado plano con compuerta rotativa
Adecuada para espacios herméticos, alta conductancia, partículas mínimas
Semiconductor y deposición de película delgada, aislamiento de bombas turbo
Válvula de purga de aire
Permite la ventilación controlada a la atmósfera para aliviar el exceso de presión
Ecualización segura de la presión, los componentes están protegidos
Mantenimiento y ventilación de la cámara

¿Cómo se activan las válvulas?

Las válvulas se pueden accionar de tres formas diferentes manual, , neumática, y eléctrica.

  • Las válvulas de operación manual se abren mediante un volante o un mecanismo de cierre y apertura rápido. Los mecanismos de apertura y cierre rápidos permiten un accionamiento rápido para un aislamiento rápido o situaciones de emergencia.
  • Las válvulas de operación neumática utilizan sobrepresión para mover un pistón o diafragma interno, que abre o cierra el mecanismo de la válvula.
  • El accionamiento eléctrico usa motores para convertir la energía eléctrica en movimiento mecánico preciso, lo que permite un control automatizado y fiable sin necesidad de sobrepresión.
Además, hay disponible una versión combinada: las válvulas accionadas electroneumáticamente también utilizan aire comprimido, pero con un solenoide integrado para el control del caudal de sobrepresión. Esta electroválvula es una válvula de control eléctrico que se abre o cierra cuando se genera un campo magnético.

Para fines de monitorización, hay disponibles indicadores de posición para determinar si una válvula está abierta o cerrada. Las válvulas manuales suelen tener un indicador visual, mientras que las válvulas neumáticas pueden proporcionar retroalimentación eléctrica directa al sistema de vacío, lo que garantiza un control y una monitorización precisos. Estos indicadores suelen estar montados directamente en el vástago de la válvula o en el alojamiento del actuador, donde realizan un seguimiento de la posición del elemento móvil dentro de la válvula.

¿Qué criterios debo tener en cuenta a la hora de seleccionar una válvula de vacío?

Hay varios criterios que debe tener en cuenta para encontrar una válvula de vacío adecuada para su aplicación.

  • Propósito: la aplicación influye considerablemente en la selección de la válvula. Los requisitos varían en función de si la válvula se utiliza principalmente para abrir y cerrar líneas de vacío o para controlar la presión.
  • Instalación y compatibilidad del sistema:las dimensiones físicas del espacio de instalación disponible y las bridas de la bomba de vacío y la cámara influyen directamente en la selección del tamaño adecuado de la válvula.
  • Medio bombeado:la composición de los gases que fluyen a través de la válvula influye en gran medida en la elección de los materiales para garantizar la durabilidad y fiabilidad de la válvula.
  • Temperatura: conocer las temperaturas esperadas es esencial para seleccionar los materiales adecuados para el cuerpo de válvula y los sellados para garantizar una funcionalidad duradera.
  • Presión: comprender la condición de presión a la que estará expuesta la válvula influye en la selección de la válvula.

Póngase en contacto con nuestros expertos y encuentre las válvulas de vacío perfectas para su aplicación.

¿Qué hace que las válvulas de vacío de Pfeiffer sean especiales?

Las válvulas de vacío de la serie E son una sustitución directa de las válvulas de accionamiento neumático y electroneumático, ya que combinan surobustez y funcionalidad con los beneficios del accionamiento totalmente eléctrico. Eliminan la necesidad de sobrepresión y válvulas solenoides externas, mientras que evitan los inconvenientes típicos de las válvulas accionadas electromagnéticamente, como un alto consumo de energía, una precisión de posición limitada y una mayor generación de calor. Esto se traduce en un control de válvulas preciso y fiable con un menor consumo de energía y una integración simplificada del sistema.

Nuestras válvulas de control de presión incorporan dos innovaciones clave diseñadas para ofrecer un rendimiento excepcional:

  • La tecnología de control del motor dentro del controlador permite un funcionamiento rápido y una resolución precisa de la posición, lo que brinda una respuesta rápida a las condiciones cambiantes del proceso.
  • Nuestro algoritmo de control de presión adaptativo funciona en paralelo con el control del motor para ajustar continuamente la respuesta de la válvula en función de la condición de corriente. Esto ayuda a mantener con precisión la presión objetivo.

¿Para qué rangos de presión se pueden utilizar las válvulas?

Las válvulas de vacío son adecuadas para todas las aplicaciones de vacío, con la elección de la válvula en función de la tecnología de sellado necesaria para niveles de presión específicos:

  • Para aplicaciones de alto vacío, Pfeiffer ofrece una amplia gama de válvulas conjuntas de goma y bridas ISO-KF/ISO-K, lo que garantiza un rendimiento fiable.
  • Las válvulas con sellados metálicos y bridas CF son la mejor opción para aplicaciones de ultra vacío. También hay disponibles válvulas totalmente metálicas con sellados totalmente metálicos para aplicaciones a altas temperaturas.

¿Qué sellos y mecanismos de sellado están disponibles?

Los sellos y los métodos de sellado desempeñan un papel decisivo a la hora de seleccionar la válvula adecuada para el sistema de vacío.

Dado que la resistencia a la temperatura y las tasas de desgasificación varían, la elección del sellado se decide en última instancia en función de los requisitos del proceso. Esto incluye la resistencia a la temperatura necesaria y el nivel de vacío necesario.

  • Las juntas de goma proporcionan un sellado fiable para aplicaciones de alto vacío. Su resistencia a la temperatura depende tanto del material del elastómero como del tipo de accionamiento, por lo que algunas válvulas tienen diferentes propiedades que las hacen más adecuadas para aplicaciones especiales.
  • Los sellados metálicos no requieren elastómeros. Esto significa que tienen tasas de desgasificación extremadamente bajas y, por lo tanto, son ideales para aplicaciones de ultra vacío.

¿Qué tipos de válvulas de alto vacío están disponibles?

En Pfeiffer encontrará una amplia gama de válvulas de alto vacío para diferentes necesidades de instalación y rendimiento. La elección de la válvula adecuada depende de varios factores como la secuencia del proceso, la temperatura del proceso, el vacío límite y la composición del gas. Los sistemas de alto y ultra vacío requieren válvulas que combinen un sellado fiable, una alta conductancia y durabilidad.

  • Las válvulas de ángulo recto desvían el caudal de gas en 90°, mientras que las válvulas en línea, con bridas de conexión opuestas, permiten una instalación sencilla en tuberías rectas. Ambas variantes suelen utilizar un fuelle como sellado.
  • Las válvulas de compuerta y las válvulas de péndulo de aislamiento son ideales para espacios reducidos y garantizan un caudal de gas sin obstrucciones con un paso ópticamente libre. Están diseñadas para alto y ultra vacío y a menudo se abren a presiones diferenciales bajas. Son la elección ideal para esclusas o aguas arriba de bombas de vacío.
  • Las válvulas de bola también se pueden utilizar en ciertas aplicaciones de alto vacío. Los diseños de KF de coste optimizado muestran tasas de fuga de 10-6 mbar l/s y son resistentes a la temperatura hasta 80 °C. Los diseños especiales son adecuados para la gama HV y pueden soportar temperaturas de hasta 150 °C.