专利吹扫系统，大幅节省能耗
UltiDry 系列的关键创新之一，是其搭载的专利吹扫喷射系统，该系统旨在通过冲洗掉粉末等污染物来保护真空泵， 确保即使在粉末密集的工艺中也能实现稳定的性能和平稳运行。能耗是半导体晶圆厂主要的成本因素之一。依托优化的多级罗茨结构设计，相较于同品类的其他真空泵，UltiDry 系列产品的能耗可以节省高达 87%。这不仅可以减少碳足迹，还可以帮助客户实现可持续发展和成本效益目标。
该真空泵可在 50℃ 至 270℃ 的宽温域范围内稳定运行，能灵活适应不同的工艺要求。这使得它既适用于对温度敏感的镀膜工艺，也适用于具有腐蚀性的半导体应用。UltiDry 系列产品能够在不同温度条件下保持稳定运行，既保障了产品质量的一致性，也有效延长了设备的保养周期。耐腐蚀涂层、低吹扫气体用量以及高能效三重优势相结合，使得 UltiDry 系列产品成为了一款经久耐用且低维护成本的解决方案，专为应对严苛的制造环境而生。