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以创新技术满足各类真空度需求。
氦气泄漏检测(喷雾)
精准氦气泄漏检测技术可保障真空系统完整性,确保其安全高效运行。
超高真空(UHV)环境生成技术
UHV 为超洁净无颗粒环境下的突破性研究和生产创造条件。
容器密封完整性测试(CCIT)
基于真空技术的 CCIT 可为药品提供无菌无泄漏的包装保障,从而确保药品安全与质量。
残余气体分析(RGA)
真空系统残余气体分析(RGA)能够识别污染物,从而确保工艺流程的洁净度并保护设备。
质谱分析
真空环境确保离子精准传输,助力先进质谱技术实现精确质量分析。
热处理/真空炉
真空热处理可在较低工艺温度下实现材料均匀相变,确保品质稳定及表面处理一致性。
加速器
加速器中的真空环境可确保粒子束流稳定,从而实现高精度医学研究和成像。
汽车、航空和制冷领域的泄漏测试
真空检漏技术为高性能汽车与航空系统提供安全及能效保障。
电子显微术
真空条件确保电子无散射运动,从而对微观结构进行高分辨率成像。
锂离子电池
真空工艺可提升电池制造过程中的性能表现、洁净度与安全性。
太阳能电池制造
高真空环境为高效优质太阳能电池生产提供无碳制造条件。
氢燃料电池
真空技术可确保氢气存储安全防漏,保障氢燃料电池的高效运行。
太空模拟
真空室可模拟外太空环境,为卫星和航天器提供可靠性能测试。
极紫外(EUV)光刻
真空是半导体生产中精密、无颗粒极紫外光刻工艺的关键。
半导体蚀刻与清洁
真空技术实现纳米级半导体制造的精密蚀刻与清洁处理。
气态分子污染物 (AMC)
晶圆缺陷是半导体制造厂良率损失的主要因素之一。
薄膜沉积
在半导体薄膜沉积工艺中,真空环境可极大限度地减少污染,确保镀膜均匀性,并实现沉积过程的精准控制。
装载闭锁及传送
适用于装载闭锁及传送应用的真空解决方案。
离子源、束流线与终端站
半导体组件制造是高度复杂的工艺,包含多个必须在真空环境下完成的工序。
CD-SEM
随着生产工艺步骤的增加和器件尺寸的极度缩小,晶圆检测与计量技术的重要性愈发凸显。
3D 打印
真空环境能有效防止氧化、提升材料品质,同时提高熔融过程能量密度,进而优化能效。
灭菌
灭菌是杀灭各类微生物(如真菌、细菌、病毒及孢子)的工艺过程。
实验室真空
实验室真空技术为从质谱分析、灭菌到冷冻干燥等科学工艺提供精确、洁净且可靠的环境条件。
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