残余气体分析

残余气体分析（RGA）是一种用于确定系统中存在哪些气体及其数量的方法。它依赖于质谱分析，其中分子被电离，并使用四极质量过滤器根据质量-电荷比（m/z）对所得离子进行分类。这使系统能够根据其特征质量峰值检测各个气体种类、成分和同位素。

为了确定气体成分，必须解释检测到的质谱——这是将测量峰值与已知气体或分子成分相关联的过程。这使得 RGA 成为了解真空质量、检测污染物和实时监控工艺气体的强大工具。

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RGA 是残余气体分析的缩写，是指检测和识别系统内残留或释放的气体。这些残余气体可能来自泄漏、脱气材料、流程副产品或污染。RGA 用于监测和分析这些气体，以确保真空完整性、检测污染物，或跟踪冷冻干燥、热处理或高真空研究等应用中的工艺气体行为。

是的， 根据应用的不同，残余气体分析可适应不同的压力范围。在高真空系统中，RGA 通常在封闭的静态环境中分析低浓度的背景气体。但是，在大气压力下或接近大气压力的过程（如热分解研究或气体反应监测）中，可将 RGA 与专门设计的进气系统结合使用，以处理连续气体流量并降低分析仪前的压力。

这意味着，无论您是在密封的 UHV 腔体中分析痕量气体，还是在加热大气流程中监测副产品，都可以相应地配置 RGA，以提供有意义和可靠的结果。

从技术上讲，这两种设备都是质谱仪，但它们的用途不同。

检漏仪经过优化，可查找一种或两种示踪气体（通常为氦气或氢气）。这使得定位真空系统中的泄漏变得更简单、更快速，使用量身定制的质量过滤器仅检测这些特定气体。

另一方面，残余气体分析仪 (RGA) 可检测更广泛质量范围内的各种气体类型和成分。它也可用于泄漏检测，但通常无需使用 QMS，除非您还对识别其他气体类型感兴趣。

简而言之：泄漏探测器是一种专注、经济高效的氦气或氢气检测工具，而 RGA 则可让您全面了解气体成分。

四极质谱仪根据质量-电荷比（m/z）检测气体，从质量 1 u（统一原子质量单位）开始。这包括单个气体分子、其同位素和电离过程中产生的成分。根据设备和配置的不同，适用不同的质量上限：

分压是指单一气体在气体混合物中的单个压力贡献。在真空系统中，总压力由存在的每种气体类型的所有分压之和组成。

残余气体分析 (RGA) 测量这些分压，以确定存在哪些气体及其数量。这对于识别污染物、监控工艺气体成分和评估真空质量至关重要。与总压测量不同，RGA 提供气体特定的洞见——即使是某些气体的痕量也会影响产品质量或工艺稳定性的应用。

Pfeiffer 提供广泛的 RGA 解决方案组合，从紧凑的设置到完全集成的高端系统——每个系统都仅根据应用的需求量身定制。这种模块化方法可确保出色的性价比，无论您是监测食品生产中的痕量气体、优化制药冷冻干燥，还是进行高灵敏度 UHV 分析。

PV MassSpec 软件是所有系统的一个关键优势。它具有直观的操作、可定制的扫描配置和详细的数据记录，可实现实时气体分析。它专为与现有 QMS 系统无缝集成而设计，支持远程访问、自动化程序和精确控制测量条件。这使其成为工艺驱动型行业和需要真空诊断运行可靠性、透明度和灵活性的研究环境的理想工具。