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真空泵

了解我们种类繁多的真空泵产品


从粗真空到超高真空，我们提供多样化、可靠且性能出众的真空泵产品。了解更多关于我们在半导体、工业以及研发等不同应用领域的产品与解决方案。

产品查找器

涡轮分子真空泵

涡轮分子真空泵是一种高速真空泵，需与前级泵配合使用，以实现低至 10-11 hPa (mbar) 的超高真空度。它们无油且能效高。涡轮分子真空泵广泛应用于等离子体刻蚀、表面分析和镀层技术等要求严苛的领域。
  • turbopumps_stage

    采用混合或磁性轴承系统的涡轮分子真空泵

    HiPace
  • turbo_vacuum_pump_splitflow_1

    根据客户需求量身定制的模块化涡轮泵

    SplitFlow
  • ath_m_turbopumps

    配备五轴磁性轴承系统的涡轮分子真空泵

    ATH-M / ATP-M
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涡轮分子真空泵

涡轮分子真空泵是一种高速真空泵，需与前级泵配合使用，以实现低至 10-11 hPa (mbar) 的超高真空度。它们无油且能效高。涡轮分子真空泵广泛应用于等离子体刻蚀、表面分析和镀层技术等要求严苛的领域。
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      ATH-M / ATP-M

罗茨泵

与合适的前级泵配合使用，无油罗茨泵可提供强劲且可靠的快速抽真空解决方案。它们灵活易用，可针对多种应用进行定制。

罗茨泵

与合适的前级泵配合使用，无油罗茨泵可提供强劲且可靠的快速抽真空解决方案。它们灵活易用，可针对多种应用进行定制。

隔膜泵

隔膜泵可产生干式真空，因此非常适合需要无油环境的应用。其运行安静、结构紧凑，特别适合用于医疗器械、实验室设备及分析应用中。
  • diaphragm_pumps_mvp_neo

    紧凑型干式隔膜泵

    MVP
    • diaphragm_pumps_mvp_neo

      紧凑型干式隔膜泵

      MVP

隔膜泵

隔膜泵可产生干式真空，因此非常适合需要无油环境的应用。其运行安静、结构紧凑，特别适合用于医疗器械、实验室设备及分析应用中。
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    紧凑型干式隔膜泵

    MVP
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多级罗茨泵

我们的多级罗茨泵无需使用润滑剂或密封材料，能够确保无颗粒污染，同时具备高可靠性与持久性能。多级设计使其能够在大气压力下运行。
  • multi_stage_roots_vacuum_pump_acp_90

    灵活可靠的多级罗茨真空泵

    ACP
  • 多级罗茨泵 A 100 L

    紧凑型多级罗茨泵

    A 100/200 L
  • ultidry

    灵活和高能效多级罗茨真空泵

    UltiDry
  • a4_series

    高能效多级干式罗茨泵

    A4
  • multi_stage_roots_vacuum_pumps_torri_bd_2

    高能效多级罗茨泵

    TORRI
    • multi_stage_roots_vacuum_pump_acp_90

      灵活可靠的多级罗茨真空泵

      ACP
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      紧凑型多级罗茨泵

      A 100/200 L
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      高能效多级干式罗茨泵

      A4
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      高能效多级罗茨泵

      TORRI

多级罗茨泵

我们的多级罗茨泵无需使用润滑剂或密封材料，能够确保无颗粒污染，同时具备高可靠性与持久性能。多级设计使其能够在大气压力下运行。
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    灵活可靠的多级罗茨真空泵

    ACP
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    紧凑型多级罗茨泵

    A 100/200 L
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    UltiDry
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    高能效多级干式罗茨泵

    A4
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    高能效多级罗茨泵

    TORRI
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      灵活可靠的多级罗茨真空泵

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      高能效多级罗茨泵

      TORRI

Rotary vane vacuum pumps

Rotary vane vacuum pumps are positive displacement pumps, delivering reliable vacuum generation across a wide range of applications. Pfeiffer offers high-performance models known for their durability and long service life.
  • rotary_vane_pump_duovane_1

    双级油润滑旋片真空泵

    DuoVane
  • rotary_vane_pump_smartvane_1

    适用于实验室环境的单级油润滑旋片真空泵

    SmartVane
  • pweb_285_ba501landingpageimages_767x430

    适用于要求严苛的工业应用的单级油润滑旋片真空泵

    BA 501
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      双级油润滑旋片真空泵

      DuoVane
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      适用于实验室环境的单级油润滑旋片真空泵

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      适用于要求严苛的工业应用的单级油润滑旋片真空泵

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Rotary vane vacuum pumps

Rotary vane vacuum pumps are positive displacement pumps, delivering reliable vacuum generation across a wide range of applications. Pfeiffer offers high-performance models known for their durability and long service life.
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    双级油润滑旋片真空泵

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    适用于实验室环境的单级油润滑旋片真空泵

    SmartVane
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    适用于要求严苛的工业应用的单级油润滑旋片真空泵

    BA 501
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      适用于实验室环境的单级油润滑旋片真空泵

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      适用于要求严苛的工业应用的单级油润滑旋片真空泵

      BA 501

螺杆真空泵

螺杆真空泵将高抽速与坚固、无油设计相结合，使其成为从冶金到冷冻干燥等广泛工业应用的理想选择。它们高效、可靠，且能够始终保持超高性能。

螺杆真空泵

螺杆真空泵将高抽速与坚固、无油设计相结合，使其成为从冶金到冷冻干燥等广泛工业应用的理想选择。它们高效、可靠，且能够始终保持超高性能。

涡旋真空泵

涡旋真空泵在低噪声水平下实现高性能，因此非常适合实验室、半导体制造和真空干燥等应用。其无油设计可确保清洁的运行环境和高运行效率。

涡旋真空泵

涡旋真空泵在低噪声水平下实现高性能，因此非常适合实验室、半导体制造和真空干燥等应用。其无油设计可确保清洁的运行环境和高运行效率。