高温和高流量
加工类型广泛，高耐腐蚀性
自诊断
内置传感器，用于性能诊断、维护优化和外部通信
经济
优化的温度管理，低功耗和低冷却水消耗量，低拥有成本
技术规格
市场和应用
显示器
-
物理气相沉积（PVD）
半导体
-
LPCVD / 扩散
-
PVD
-
检验与计量
-
Si Poly etch
-
轻沉积
-
离子注入
-
PECVD
-
光刻技术
-
金属和高 K 蚀刻
-
氧化物蚀刻
-
Load lock 和 传输
-
钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
-
ALD
薄膜镀层
-
光学涂层
-
装饰涂层
-
耐磨损涂层
配件
- 保护性密封气体吹扫阀门
- 冷却水阀
- 手持式遥控器
- 用于入口法兰的保护过滤器
- 安装套件
- 入口法兰：VG350 或 VG400
- 排气法兰：DN40 或 DN50
- 多种加热选项
- 针对严苛工艺的附加中间吹扫
- 转子温度传感器
- 吹扫存在传感器
- 输入功率：200, 440 或 480 VAC