静音
低噪音和振动水平，非常适合半导体制造工艺和分析仪器中对振动敏感的应用
灵活
与多种前级泵兼容，MT 型号带集成加热系统，可满足要求严苛的化学条件，变频直流（DC）电机
结构紧凑
占地面积小，集成驱动装置，可任意方向安装
技术规格
市场和应用
医疗
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诊断成像
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医用加速器
研发
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光子学研究
半导体
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LPCVD / 扩散
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PVD
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检验与计量
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Si Poly etch
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轻沉积
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离子注入
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PECVD
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光刻技术
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金属和高 K 蚀刻
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氧化物蚀刻
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Load lock 和 传输
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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ALD