性能出色
先进的螺杆设计，钟形悬臂结构，荣获专利的自平衡螺杆，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于冷原子层沉积工艺、load lock 腔和传送腔、计量、平版印刷术、物理气相沉积、快速热退火以及和蚀刻工艺（如氧化物、硅和金属）等等
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，直接水冷却
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
技术规格
市场和应用
半导体
-
剥离 / 灰化
-
PVD
-
Si Poly etch
-
轻沉积
-
离子注入
-
金属和高 K 蚀刻
-
氧化物蚀刻
-
钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
-
退火