便于保养
所有保养相关访问点均位于设备正面，拆卸时间少于一分钟，磨损部件少，总拥有成本低
灵活
按特定工艺要求定制设计
可靠
应用最广泛的尾气处理技术，配备高效燃气燃烧器，适用于众多应用
技术规格
市场和应用
化学品
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实验室真空
显示器
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等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
医疗
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实验室真空
冶金
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真空烧结
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真空铜焊 / 钎焊
制药与生物技术
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实验室真空
研发
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光子学研究
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实验室真空
半导体
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LPCVD / 扩散
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高流量应用
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PECVD
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氧化物蚀刻
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ALD
太阳能
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电池制造
配件
- 废气入口加热套
- 废气入口氮气加热
- 机械式燃烧器清洁装置
- 排气风扇套件