安全
永久化学吸附与专利吸收器设计相结合
高效
耗材消耗低，颗粒使用寿命优化
几乎免维护
由于无运动部件，维护要求极少
技术规格
市场和应用
化学品
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实验室真空
医疗
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实验室真空
制药与生物技术
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实验室真空
研发
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光子学研究
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中央真空
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实验室真空
半导体
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LPCVD / 扩散
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剥离 / 灰化
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PVD
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Si Poly etch
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离子注入
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PECVD
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金属和高 K 蚀刻
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氧化物蚀刻
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ALD
配件
- 电化学传感器
- 备用滤罐
- 备用旁路滤罐