灵活
按特定工艺要求定制设计
便于保养
所有保养相关访问点均位于设备正面，拆卸时间少于一分钟，磨损部件少，总拥有成本低
高效
配备集成湿式洗涤器的电加热尾气处理系统
技术规格
市场和应用
半导体
-
LPCVD / 扩散
-
高流量应用
-
ALD
配件
- 废气入口加热套
- 废气入口氮气加热
- 排气风扇套件
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灵活
按特定工艺要求定制设计
便于保养
所有保养相关访问点均位于设备正面，拆卸时间少于一分钟，磨损部件少，总拥有成本低
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