坚固耐用
同类产品中最佳的混合轴承技术，最大限度地延长正常运行时间，镀镍表面，适用于腐蚀性应用工艺
灵活
广泛的产品组合，标准配件和通信工具
性能卓越
高抽速，对轻质气体具有出色的压缩比
技术规格
市场和应用
车辆及运输
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热处理
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太空探索
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电子束焊
医疗
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诊断成像
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医用加速器
冶金
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电子束焊
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真空铜焊 / 钎焊
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热处理
研发
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太空探索
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超高真空
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等离子体物理
半导体
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LPCVD / 扩散
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剥离 / 灰化
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PVD
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检验与计量
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Si Poly etch
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轻沉积
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离子注入
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PECVD
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光刻技术
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金属和高 K 蚀刻
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氧化物蚀刻
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Load lock 和 传输
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ALD
太阳能
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电池制造
薄膜镀层
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光学涂层
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装饰涂层
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耐磨损涂层