可靠
无碳氢化合物，运行期间自动校准传感器
静音
低噪音、低振动
几乎免维护
电磁悬浮可防止转子过早磨损，持续补偿转子不平衡
技术规格
市场和应用
车辆及运输
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太空探索
化学品
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实验室真空
医疗
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实验室真空
制药与生物技术
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实验室真空
研发
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光子学研究
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太空探索
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超高真空
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实验室真空
半导体
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LPCVD / 扩散
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剥离 / 灰化
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PVD
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检验与计量
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Si Poly etch
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轻沉积
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离子注入
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PECVD
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光刻技术
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金属和高 K 蚀刻
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氧化物蚀刻
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Load lock 和 传输
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ALD