Cómo funciona el RGA con espectrómetros de masas cuádruples
Los espectrómetros de masas cuádruples (QMS) constan de tres componentes principales: la fuente de iones, un filtro de masas y el detector, que juntos forman el analizador real. Lo que diferencia al QMS de otros espectrómetros de masas es su sistema de varillas cuádruple.Requisitos: Las presiones de trabajo de 10⁻⁴ hPa (mbar) o inferiores son críticas. Si la cámara de vacío conectada no alcanza esta presión de forma natural, se requiere un sistema de vacío específico, que normalmente combina una bomba primaria y una bomba de vacío turbomolecular, para mantener unas condiciones óptimas. El funcionamiento a presiones más altas puede dañar el QMS, por lo que se recomienda encarecidamente integrar la medición de presión total.