Leise
Niedriges Geräusch- und Vibrationsniveau, perfekt geeignet für vibrationsempfindliche Anwendungen in Prozessen der Halbleiter-Produktion und analytischen Instrumenten
Flexibel
Kompatibel mit einer Vielzahl von Vorpumpen, hervorragendes Verdichtungsverhältnis für leichte Gase
Wartungsfrei
Keine Verschleißteile dank Magnetlagerung, lange Wartungsintervalle
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Automobilindustrie und Transport
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Weltraumforschung
Display
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Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
F&E
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Hochenergiephysik
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Photonik-Forschung
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Weltraumforschung
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Ultrahochvakuum
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Plasmaphysik
Halbleiter
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Poly-Silizium-Ätzen
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
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PECVD
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Lithografie
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Metall- & High-k-Ätzen
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Oxid-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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Kobalt, WCVD, TiN & TDMAT
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ALD