Sicher
Permanente Chemisorption in Kombination mit patentiertem Absorberdesign
Effizient
Geringer Medienverbrauch, optimierte Lebensdauer des Granulats
Wartungsfrei
Äußerst geringer Wartungsbedarf, da ohne bewegliche Teile
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Chemie
-
Laborvakuum
Medizin
-
Laborvakuum
Pharmazeutik und Biotechnologie
-
Laborvakuum
F&E
-
Photonik-Forschung
-
Vakuumzentralanlagen
-
Laborvakuum
Halbleiter
-
Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
-
Strippen/Veraschung
-
PVD
-
Poly-Silizium-Ätzen
-
Ionenimplantation
-
PECVD
-
Metall- & High-k-Ätzen
-
Oxid-Ätzen
-
ALD
Zubehör
- Elektrochemischer Sensor
- Ersatzkanister
- Ersatz-Bypass-Kanister