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Global

Robust

Aufnahme wasserlöslicher Gase und Partikel

Einfache Wartung

Schnelle und einfache Wartung, wartungsrelevanter Zugang nur an der Vorderseite

Effizient

Niedrige Betriebskosten dank minimalem Frischwasserverbrauch, bis zu 99 % Verfügbarkeit

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Metallurgie
  • Vakuumsintern
  • Vakuumlöten
Halbleiter
  • Strippen/Veraschung
  • Poly-Silizium-Ätzen
  • Metall- & High-k-Ätzen
Solar
  • Zellproduktion

Zubehör

  • Heizmantel für Abgaseintritt
  • N₂-Heizung für Abgaseintritt
  • Einlassreinigungsvorrichtung
  • Lüftersatz für Gasaustritt