Zuverlässig
Erstklassige Hybridlagerung, optimale Schmierung der Lager für eine lange Lebensdauer
Herausragende Leistung
Optimierte Rotorgeometrie, verbessertes Gaslast-Handling
Hoher Gasdurchsatz
Hohes Saugvermögen, kompatibel mit einer Vielzahl von Vorpumpen, hohe Verdichtung für leichte Gase
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Automobilindustrie und Transport
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Weltraumforschung
Medizin
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Diagnostische Bildgebung
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Medizinischer Beschleuniger
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Massenspektrometer
Stromerzeugung
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Grüne Energieerzeugung
F&E
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Weltraumforschung
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Ultrahochvakuum
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Massenspektrometrie
Wissenschaftliche Instrumente
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Massenspektrometrie
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Oberflächenanalyse
Halbleiter
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Strippen/Veraschung
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Poly-Silizium-Ätzen
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
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PECVD
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Lithografie
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Metall- & High-k-Ätzen
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Oxid-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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ALD
Technische Gase
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Flaschenabfüllung
Zubehör
- Elektrischer Adapter
- Netzkabel
- Anschlusskabel
- Verschiedene Feldbussysteme
- Netzteil und Anzeigeeinheit
- Montagesatz
- Sicherheitsventil
- Zubehör zum Fluten
- Stromausfallfluter
- Schwingungsdämpfer