Zuverlässig
Erstklassige Hybridlagerung, optimale Schmierung der Lager für eine lange Lebensdauer
Hoher Gasdurchsatz
Hohes Saugvermögen, kompatibel mit einer Vielzahl von Vorpumpen, hohe Verdichtung für leichte Gase
Herausragende Leistung
Optimierte Rotorgeometrie, verbessertes Gaslast-Handling
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Automobilindustrie und Transport
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Wärmebehandlung
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Lecksuche und EoL-Prüfung
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Weltraumforschung
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Elektronenstrahlschweißen
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3D-Druck
Batterie
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Lecksuche und EoL-Prüfung (Master)
Chemie
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Laborvakuum
Wasserstoffwirtschaft
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Lecksuche und EoL-Prüfung (Master)
Medizin
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Diagnostische Bildgebung
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Laborvakuum
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Medizinischer Beschleuniger
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Massenspektrometer
Metallurgie
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Elektronenstrahlschweißen
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Vakuumlöten
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3D-Druck
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Wärmebehandlung
Pharmazeutik und Biotechnologie
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Laborvakuum
Stromerzeugung
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Grüne Energieerzeugung
F&E
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Hochenergiephysik
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Weltraumforschung
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Ultrahochvakuum
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Plasmaphysik
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Laborvakuum
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Massenspektrometrie
Kühlung und Klimatechnik
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Lecksuche und EoL-Prüfung
Wissenschaftliche Instrumente
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Massenspektrometrie
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Oberflächenanalyse
Halbleiter
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Strippen/Veraschung
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Poly-Silizium-Ätzen
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
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PECVD
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Lithografie
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Metall- & High-k-Ätzen
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Oxid-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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ALD
Technische Gase
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Flaschenabfüllung
Dünnfilmbeschichtung
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Laborbeschichtung