Zuverlässig
Kohlenwasserstofffrei, automatische Sensorkalibrierung während des Betriebs
Leise
Niedrige Schalldruckpegel und Vibrationsniveaus
Wartungsfrei
Elektromagnetische Aufhängung zum Schutz des Rotors vor vorzeitigem Verschleiß, kontinuierlicher Ausgleich der Rotorunwucht
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Automobilindustrie und Transport
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Weltraumforschung
Chemie
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Laborvakuum
Medizin
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Laborvakuum
Pharmazeutik und Biotechnologie
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Laborvakuum
F&E
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Photonik-Forschung
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Weltraumforschung
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Ultrahochvakuum
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Laborvakuum
Halbleiter
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Strippen/Veraschung
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Poly-Silizium-Ätzen
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
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PECVD
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Lithografie
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Metall- & High-k-Ätzen
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Oxid-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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ALD