Zuverlässig
Erstklassige Hybridlagerung, optimale Schmierung der Lager für eine lange Lebensdauer
Hoher Gasdurchsatz
Hohes Saugvermögen, kompatibel mit einer Vielzahl von Vorpumpen, hohe Verdichtung für leichte Gase
Herausragende Leistung
Optimierte Rotorgeometrie, verbessertes Gaslast-Handling
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Automobilindustrie und Transport
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Weltraumforschung
Chemie
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Laborvakuum
Medizin
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Laborvakuum
Pharmazeutik und Biotechnologie
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Laborvakuum
F&E
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Hochenergiephysik
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Weltraumforschung
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Ultrahochvakuum
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Plasmaphysik
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Laborvakuum
Halbleiter
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Strippen/Veraschung
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Poly-Silizium-Ätzen
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
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PECVD
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Lithografie
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Metall- & High-k-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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ALD
Technische Gase
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Flaschenabfüllung