특허 받은 퍼지 시스템 및 매우 높은 에너지 절감 효과
UltiDry의 핵심 혁신 중 하나는 분말과 같은 오염 물질을 세척하여 진공 펌프 보호 목적으로 개발된 특허 받은 퍼지 주입 시스템입니다. 이 기능은 파우더 집약적 공정 시에도 안정적인 성능 및 원활한 작동을 보장합니다.반도체 제조 시 에너지 소비 비용은 주요 비용 요소입니다. 최적화된 다단계 루츠 설계 덕분에 UltiDry는 동급의 다른 진공 펌프 대비 최대 87%의 에너지 절감 효과를 제공합니다. 이는 탄소 발자국을 줄일 뿐만 아니라 고객이 지속 가능성 및 비용 효율성 목표를 달성하는 데 도움이 됩니다.
이 진공 펌프는 50 °C에서 270 °C까지의 넓은 온도 범위에서 안정적으로 작동하여 다양한 공정 요구 사항에 유연하게 적응합니다. 따라서 온도에 민감한 코팅 공정 및 부식성 반도체 응용 분야 모두에 적합합니다. 다양한 온도 조건 하에서 안정적인 작동을 유지함으로써 UltiDry는 일관된 제품 품질 및 긴 서비스 간격 지지대 역할을 합니다. 내부식성 코팅, 세척 가스 사용 감소 및 높은 에너지 효율성 결합으로 UltiDry는 까다로운 제조 환경을 위한 내구성이 뛰어나고 유지보수가 적은 솔루션입니다.