A 3004
다단계 진공 부스터
기술 사양
시장 & 어플리케이션
반도체
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LPCVD / 확산
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스트리핑 / 애싱
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Si Poly 에칭
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라이트 메탈 증착
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PECVD
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미세가공기술
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금속 및 높은 K 에칭
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코발트, WCVD, TiN 및 TDMAT
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ALD
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풀림
태양광
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셀 제조