A 804-1804 XN
다단계 진공 부스터
내구성
가혹한 반도체 공정에 완벽하게 적합, 내부식성을 높이기 위한 니켈 코팅, 부산물 발생을 처리하기 위한 디자인 옵션
신뢰성
수명 연장
효율성
고효율 모터, 전기 히터 제한적 사용, 비용 효율적
기술 사양
시장 & 어플리케이션
유제품
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치즈 생산 - 치즈 진공 챔버
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치즈 생산 - 치즈 타워
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버터 생산
반도체
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LPCVD / 확산
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스트리핑 / 애싱
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PVD
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Si Poly 에칭
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라이트 메탈 증착
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PECVD
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금속 및 높은 K 에칭
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산화물 에칭
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풀림