사용자 친화적
회전 가능한 대형 컬러 터치 디스플레이, 통합 공구 상자 및 저장소 공간
고성능
신속한 시운전, 높은 흡입 용량, 청정 환경의 까다로운 응용 분야
유연성
컴팩트하고 인체공학적인 설계, 모든 검사 영역에 쉽게 접근 가능
기술 사양
시장 & 어플리케이션
자동차 및 운송
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누출 감지 및 EoL 검사
배터리
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누출 감지 및 EoL 검사(마스터)
화학
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리크 감지
디스플레이
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로드록(Load lock) 챔버
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
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물리적 증착(PVD)
수소 경제
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누출 감지 및 EoL 검사(마스터)
의료
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의료 기기 누설 테스트
제약 및 생명공학
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리크 감지
R&D
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고에너지 물리학
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리크 감지
냉동 및 공조 조건
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누출 감지 및 EoL 검사
반도체
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LPCVD / 확산
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고유량 애플리케이션/응용 분야
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스트리핑 / 애싱
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PVD
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검사 및 계측학
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Si Poly 에칭
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라이트 메탈 증착
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이온 이식
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PECVD
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미세가공기술
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금속 및 높은 K 에칭
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산화물 에칭
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로드 잠금 및 이동
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코발트, WCVD, TiN 및 TDMAT
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ALD
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풀림
기술 가스
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액화
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단열 진공
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가스 운송
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병입
박막 코팅
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실험실 코팅