Anwenderfreundlich
Großes und drehbares Farb-Touchdisplay, integriertes Werkzeug- und Aufbewahrungsfach
Herausragende Leistung
Schnelle Inbetriebnahme, hohes Saugvermögen, perfekt geeignet für anspruchsvolle Anwendungen in sauberen Umgebungen
Flexibel
Kompaktes und ergonomisches Design, einfacher Zugang zu allen Prüfbereichen
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Automobilindustrie und Transport
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Lecksuche und EoL-Prüfung
Batterie
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Lecksuche und EoL-Prüfung (Master)
Chemie
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Lecksuche
Display
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Load-Lock-Kammern
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Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
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Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
Wasserstoffwirtschaft
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Lecksuche und EoL-Prüfung (Master)
Medizin
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Leckageprüfung medizinischer Geräte
Pharmazeutik und Biotechnologie
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Lecksuche
F&E
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Hochenergiephysik
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Lecksuche
Kühlung und Klimatechnik
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Lecksuche und EoL-Prüfung
Halbleiter
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Anwendungen mit hohem Gasdurchsatz
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Strippen/Veraschung
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Poly-Silizium-Ätzen
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
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PECVD
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Lithografie
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Metall- & High-k-Ätzen
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Oxid-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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Kobalt, WCVD, TiN & TDMAT
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ALD
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Glühen
Technische Gase
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Verflüssigung
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Isolationsvakuum
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Gastransport
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Flaschenabfüllung
Dünnfilmbeschichtung
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Laborbeschichtung