ASM HVM
리크 디텍터
신속한 검사
강력한 건식 진공 펌프 기술을 사용해 리크 감지 속도를 높여, 신뢰할 수 있고 신속하며 민감도가 높은 검사 수행
저소음
소음 수준이 매우 적은 HiScroll 건식 스크롤 펌프가 내장되어 편안하고 조용한 작업 환경
사용자 친화적
직관적인 조작이 가능한 대형 회전식 컬러 터치 디스플레이, 필수 액세서리를 간편하게 보관할 수 있는 툴박스 내장
기술 사양
시장 & 어플리케이션
탄소 포집
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압력 스윙 흡착
화학
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리크 감지
디스플레이
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로드록(Load lock) 챔버
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
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물리적 증착(PVD)
제약 및 생명공학
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리크 감지
R&D
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리크 감지
태양광
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셀 제조
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잉곳 풀링
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적층
박막 코팅
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광학 코팅
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장식용 코팅
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실험실 코팅
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유리 코팅
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마모 방지 코팅
액세서리
- 스니퍼 프로브, 호스 길이 5m 또는 10m
- 헬륨 스프레이 건
- 원격 조종
- 병 홀더
- 먼지 필터