ASM HVM
리크 디텍터
사용자 친화적
회전 가능한 대형 컬러 터치 디스플레이, 통합 공구 상자 및 저장소 공간
고성능
신속한 시운전, 높은 흡입 용량, 청정 환경의 까다로운 응용 분야
유연성
컴팩트하고 인체공학적인 설계, 모든 검사 영역에 쉽게 접근 가능
기술 사양
시장 & 어플리케이션
탄소 포집
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압력 스윙 흡착
화학
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리크 감지
디스플레이
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로드록(Load lock) 챔버
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
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물리적 증착(PVD)
제약 및 생명공학
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리크 감지
R&D
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리크 감지
태양광
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셀 제조
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잉곳 풀링
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적층
박막 코팅
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광학 코팅
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장식용 코팅
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실험실 코팅
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유리 코팅
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마모 방지 코팅
액세서리
- 스니퍼 프로브, 호스 길이 5m 또는 10m
- 헬륨 스프레이 건
- 원격 조종
- 병 홀더
- 먼지 필터