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ASM HVM

Lecksucher

Schnelle Prüfung

Zuverlässige, schnelle und hochempfindliche Prüfungen durch leistungsstarke, trockene Vakuumpumpentechnologie, die Ihre Lecksuche beschleunigt

Geräuscharm

Angenehme und ruhige Arbeitsumgebung dank der integrierten trockenen Scroll-Vakuumpumpe HiScroll mit besonders niedrigem Schalldruckpegel

Anwenderfreundlich

Großes, drehbares Farb-Touchdisplay für eine intuitive Bedienung sowie integrierte Werkzeugbox zur Aufbewahrung von wichtigem Zubehör in unmittelbarer Reichweite

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Kohlenstoffabscheidung
  • Druckwechseladsorption
Chemie
  • Lecksuche
Display
  • Load-Lock-Kammern
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
Pharmazeutik und Biotechnologie
  • Lecksuche
F&E
  • Lecksuche
Solar
  • Zellproduktion
  • Kristallziehen
  • Laminierung
Dünnfilmbeschichtung
  • Optische Beschichtung
  • Dekorative Beschichtung
  • Laborbeschichtung
  • Glasbeschichtung
  • Verschleißschutzbeschichtung

Zubehör

  • Schnüffelsonde, mit 5 oder 10 m Schlauchlänge
  • Helium-Sprühpistole
  • Fernbedienung
  • Flaschenhalter
  • Staubfilter

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