편리한 수리
정면에서만 서비스 관련 접근 가능, 분해 소요 시간 1분 미만, 마모 부품 감소로 인한 낮은 소유 총 비용
유연성
특정 공정 요구 사항에 맞는 맞춤형 설계
신뢰성
광범위한 응용 분야 전반에 걸쳐 고효율 연료 가스 버너를 갖춘 가장 광범위한 제거 기술
기술 사양
시장 & 어플리케이션
화학
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실험실 진공
디스플레이
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
의료
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실험실 진공
금속 공정
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진공 소결
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진공 납땜/솔더링
제약 및 생명공학
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실험실 진공
R&D
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광자 조사
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실험실 진공
반도체
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LPCVD / 확산
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고유량 애플리케이션/응용 분야
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PECVD
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산화물 에칭
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ALD
태양광
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셀 제조
액세서리
- 폐기물 가스 유입구용 가열 재킷
- 폐기물 가스 유입구용 N₂ 가열
- 기계식 버너 세척 장치
- 가스 유출구용 팬 키트