Einfache Wartung
Wartungsrelevanter Zugang nur an Vorderseite, Demontage in weniger als einer Minute, niedrige Gesamtbetriebskosten dank weniger Verschleißteilen
Flexibel
Anpassbares Design für spezifische Prozessanforderungen
Zuverlässig
Die am weitesten verbreitete Abgasreinigungstechnologie mit einem hocheffizienten Brenngasbrenner für eine Vielzahl von Anwendungen
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Chemie
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Laborvakuum
Display
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Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
Medizin
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Laborvakuum
Metallurgie
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Vakuumsintern
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Vakuumlöten
Pharmazeutik und Biotechnologie
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Laborvakuum
F&E
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Photonik-Forschung
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Laborvakuum
Halbleiter
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Anwendungen mit hohem Gasdurchsatz
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PECVD
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Oxid-Ätzen
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ALD
Solar
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Zellproduktion
Zubehör
- Heizmantel für Abgaseintritt
- N₂-Heizung für Abgaseintritt
- Mechanische Brennerreinigungsvorrichtung
- Lüftersatz für Gasaustritt