3.1 概述

真空系统包括各种不同的部件，如腔室、泵、测量仪器、部 件、阀、穿墙引线、机械手等。这些部件必须连接在一起， 形成一个统一的装置，其中带配备有密封件的可拆卸部件与 不可拆卸部件是有区别的。以下章节描述了真空技术中使用 的材料、不同类型的连接以及机械部件。表述了设计和选择 过程中的注意事 项。