3.1 Allgemeines

Eine Vakuumanlage enthält eine Vielzahl unterschiedlicher Einzelbauteile wie z. B. Kammern, Pumpen, Messgeräte, Komponenten, Ventile, Durchführungen, Manipulatoren usw., die zu einer Einheit zusammengefügt werden müssen. Man unterscheidet dabei lösbare, mit Dichtungen versehene und nicht lösbare Verbindungen. In den folgenden Abschnitten werden die in der Vakuumtechnik verwendeten Werkstoffe, die unterschiedlichen Verbindungsarten und die mechanischen Komponenten beschrieben. Es wird aufgezeigt, worauf bei der Konstruktion und der Auswahl zu achten ist.