歷史
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1890 年:靈光乍現的偉大起點
這一切始於德國韋茨拉爾一位 23 歲機械師的遠見卓識。Arthur Pfeiffer 在自家創立公司,最初生產燃氣燈和遠端點火器。當電燈技術嶄露頭角時,他敏銳地洞察到這項技術將是未來的趨勢,但有一個關鍵瓶頸:當時的真空處理法速度太慢,無法跟上需求。
單是一個燈泡的抽真空工序就需要耗時數日。他深刻意識到,更為高效快速的真空技術是實現量產與電力普及之關鍵,於是著手改進和完善現有真空泵浦。這標誌著當時仍以 Arthur Pfeiffer 命名之公司,正式開啟真空技術的輝煌篇章。
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1910 年:將想法化為創新
1910 年,Arthur Pfeiffer 推出革命性產品:迴轉式油真空泵浦,基於物理學家和真空專家 Wolfgang Gaede 的理論構想。這是全球首台無油真空泵浦,其性能表現刷新當時極限。它主要用於最新鎢絲燈泡的抽真空製程,為 20 世紀初的真空技術樹立全新標竿。
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1929 年:邁向國際舞台
1929 年,Arthur Pfeiffer 攜 50 餘台真空泵浦參加列寧格勒展覽會,現在也開始設計用於製藥和化學工業的設備。這是公司首次涉足國際貿易展,標誌著跨越國界的大膽步伐,更將 Pfeiffer 技術推上國際舞台,正式啟動全球化進程。
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1958 年:一項革命性發明應運而生:渦輪泵浦
1958 年,另一位思想領袖為真空技術的革命奠定基礎。Pfeiffer 實驗室主管 Willi Becker 博士長期以來一直在尋找改善擴散泵浦效能之方法:由於氣流限制隔汽層,效能損失高達 50%。1955 年,他有了一項突破性發現:帶渦輪葉片的迴轉盤可以產生強大的抽氣效果。
在隨後數年間,他利用多個高速迴轉盤將這個理念完善成原型。最終成果就是渦輪分子真空泵浦。1958 年,渦輪泵浦獲得專利並投入市場。首次實現以往難以企及的真空度。Pfeiffer 樹立新標準,自此永遠改變真空技術。
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1978 年:與 NASA 一起踏入太空
當 NASA 需要客製化渦輪泵浦執行木星任務時,他們找到了 Pfeiffer。這次提出前所未有的嚴苛要求:真空泵浦必須小巧、高能效,且氫氣壓縮能力需達到當時標準的 100 倍。經過大膽的提案和 12 個月的密集開發,Pfeiffer 交付 TPU 25,這款產品通過所有測試並表現出色。
此舉證明公司開創性真空技術已經準備好迎接終極挑戰——真正將 Pfeiffer 送入太空。
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1985 年:推出 SplitFlow——為分析領域量身訂製的真空動力
到了 1985 年,Pfeiffer 面臨的挑戰日益嚴峻:質譜儀和檢漏儀等分析儀器要求精巧、強大且適應性強的真空解決方案。給出的答案就是 SplitFlow 渦輪泵浦——這項突破不僅滿足預期,更是重新定義預期。SplitFlow 採用 HiPace 渦輪泵浦中所熟知的混合軸承系統,可輕鬆達到高真空度乃至超高真空度,同時運行時能效卓越。
SplitFlow 的模組化設計使每台真空泵浦都能如精密工具般客製化,完美適應各個製程,徹底改變傳統真空泵浦迫使使用者調整設定或更換為特殊型號的做法。精巧、可靈活安裝於所有位置,並配備智慧型系統整合和即時資料監控,使它迅速成為分析世界的首選。
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2000 年:DigiLine——真空量測的數位革命
跨入千禧年之際,Pfeiffer 再次以 DigiLine 系列改寫產業標準,這是全球首套完整的數位真空表產品系列。在此之前,佔主導地位的類比系統常常面臨校準繁瑣、配線複雜和資料傳輸錯誤等問題。DigiLine 改變一切,實現數位精確度、無損資料移轉及簡單校準,大幅改善製程控制和效率。
DigiLine 配備 Profibus-DP、Profinet 和 EtherCAT 等現代介面,取代繁雜的單獨類比線路,為全自動化故障安全真空量測奠定基礎。
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2001 年:Pfeiffer 技術進駐國際太空站
Pfeiffer 於 2001 年再次達到新的高度——更確切地說是在地球上方 400 公里。一台特製的精巧渦輪泵浦加入國際太空站 (ISS) 的船隊,在等離子體晶體研究中扮演關鍵角色。後續的任務見證 Pfeiffer 泵浦和計量表支持無重力材料實驗,幫助創造更優良的材料,以改善地球上的生活。
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2010 年:產品組合不斷擴大,可能性無限
Pfeiffer 不僅在德國哥廷根收購 Trinos,而且在法國安錫收購 Alcatel-Lucent 的 adixen 真空技術部門,更完成了轉型。如今,該公司提供從真空腔體、組件、系統和檢漏儀等全套產品,打造一系列綜合高品質真空解決方案,規模幾乎翻倍。
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2017 年:在全球和技術層面擴展專業知識
Pfeiffer 在 2017 年收購 ATC、Dreebit 和 Nor-Cal 產品,迎來新一波尖端創新浪潮。從 Micro-Flow 空氣檢漏儀到離子束真空系統和半導體產業的精密組件,產品組合的廣度、深度與未來適用性均達空前水準。傳遞的訊息很明確:在高真空和超高真空方面,Pfeiffer 是首選權威。
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2021 年:渦輪泵浦技術的雷射尖端創新
自發明渦輪泵浦 60 多年後,Pfeiffer 再次突破技術疆界,這次是利用雷射光。2021 年,公司獲得其創新雷射平衡方法的專利,這是一種高精度技術,無需螺桿或磨削即可微調渦輪泵浦轉子。相反,高功率雷射會精準蒸發材料,以達到完美平衡。
結果如何?靜謐、極度可靠、超穩定的渦輪分子真空泵浦,非常適合至高要求的高真空和超高真空應用。
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2021 年:當服務化繁為簡——虛擬服務管理
Pfeiffer 於 2021 年 9 月推出其突破性雲端服務解決方案:虛擬服務管理 (VSM)。只需輕按幾下,使用者就能輕鬆管理任何製造商的真空設備、規劃維護,並簡化服務活動——所有操作均可用直覺式應用程式,或在線上以網頁版完成。
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2021 年:矽谷式創新
2021 年 12 月,聖荷西矽谷創新中心盛大開幕。在這裡,Pfeiffer 專家運用智慧與客戶直接合作,為半導體產業的高要求量身打造真空解決方案。憑藉尖端實驗室和快速原型製造設施,這座中心是將大膽構想轉化為實際解決方案的樞紐。
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2024 年:集結於 Busch Group 旗下
2024 年,Pfeiffer 加入 Busch Group,匯聚全球超過 8,000 名專家,共同打造真空技術的強大聯盟。此次合併將 Busch 在粗真空和中真空方面的專業知識與 Pfeiffer 在高真空和超高真空方面的技術領導地位相結合。結果如何?全球一站式服務,為各行各業、研發、半導體和分析領域提供真空解決方案。
涵蓋從太空技術到食品包裝的各種應用。推動技術進步,探索全球知識的邊界。
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2025 年:半導體解決方案的全面革新
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 在 2025 年迎來強大新成員:原屬 Busch Group 品牌 centrotherm clean solutions 的氣體減排系統。這些對晶片生產廢氣處理至關重要的系統,現已納入 Pfeiffer 產品組合。
透過值得信賴的單一品牌提供真空和廢氣處理解決方案,Pfeiffer 為半導體產業以及 MEMS、LED、太陽能電池或平板顯示器生產帶來端對端解決方案。同等高品質技術,現在全由一位專家提供。
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