60 年洩漏偵測專業經驗：Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 慶祝里程碑

這個里程碑標誌著公司首款氦氣洩漏檢測儀 ASM 4 商業化至今已歷經六十年，並突顯產品組合的持續發展，該產品組合長期為全球高要求的工業和科學應用提供支持。

故事始於 1960 年代法國安錫。一項來自核能研究與開發中心的請求，要求高靈敏度的解決方案，用於對核電廠燃料的同位素濃縮進行密封性測試。現有的洩漏偵測方法不足以滿足高要求的製程要求，尤其是因為設備必須防止水分等污染。工程師運用強大的真空技術專業知識，開發出一種以氦氣為示蹤氣體基於質譜法的新型檢漏儀：ASM 4。

以真空技術作為驅動力

Pfeiffer 作為真空解決方案製造商和供應商，始終受益於真空技術和檢漏儀開發團隊之間的密切合作。這種強連結使檢漏儀產品組合得以持續整合真空產生的技術進步，久而久之有助於改善效能、清潔度和堅固性。

早期的開發專注於更精巧、更易於使用的系統（如 ASM 10），同時保持高檢測靈敏度。1980 年代，渦輪分子真空泵浦取代了擴散真空泵浦和液態氮阱，使檢漏儀更快、更便於操作。1990 年代，為了滿足半導體製造等產業的特定需求，引入了自動校準和乾式初級真空泵浦。ASM 142 後來成為市場上最受認可的檢漏儀之一，之後陸續推出新一代檢漏儀，專門針對高效能、易用性和堅固性而設計。

跨產業的可靠洩漏試驗

如今，在密封性對於產品品質、製程可靠性與安全性至關重要的領域都會使用 Pfeiffer 檢漏儀。應用範圍從真空隔熱產品和醫療裝置到電池製造、半導體生產、工業品質保證、維護和研發。無論是必須保護組件免受水分、污染影響，還是免受製程損失，示蹤氣體洩漏偵測都能提供高要求測試環境所需的靈敏度和可靠性。

ASM HVM：乾淨、可移動、高靈敏度洩漏試驗

Pfeiffer 在其周年紀念年之際推出全新 ASM HVM，延續這項創新傳統。移動式檢漏儀專為中等測試量的可靠、高靈敏度氦氣洩漏試驗而設計，適用於半導體製造、研發和其他注重移動性、清潔度和快速測試的工業環境中。

ASM HVM 將渦輪分子真空泵浦與乾式渦捲式底泵浦結合成一個強大的系統，可實現快速無油測試，適合無塵室使用。其精巧且符合人體工學的設計、可旋轉且可拆卸的彩色觸控螢幕，以及整合式工具箱，支援不同測試區域的高效洩漏偵測。Pfeiffer 產品管理洩漏偵測主管 Clotilde Lesigne 表示：「過去 60 年來，Pfeiffer 持續塑造示蹤氣體洩漏偵測的發展。「我們以此經驗為基礎推出 ASM HVM，滿足當今客戶對清潔、移動、符合人體工學和高效能洩漏試驗解決方案的需求。」

展望未來：洩漏偵測面向未來市場

展望未來，資料中心冷卻、電池製造和氫能經濟等未來市場將對可靠洩漏試驗提出新的要求。由於這些應用需要密封、乾淨且安全的解決方案，Pfeiffer 將繼續透過不斷發展的洩漏檢測技術產品組合及其應用專業知識為客戶提供支援。

過去 60 年來，公司不斷擴展其能力，以因應不斷變化的要求。如今，客戶益處不僅來自於廣泛的洩漏檢測技術，包括示蹤氣體洩漏偵測、用於 CCIT 應用的光學發射光譜 (OES) 解決方案，以及用於空氣洩漏試驗的 Micro-Flow 技術。他們還能夠獲得數十年來服務各類產業所累積的應用專業知識。

Pfeiffer 以此專業知識為基礎，在整個洩漏試驗過程中為客戶提供支援，從技術選擇和可行性研究到製程實施和服務。透過其全球應用實驗室網絡，客戶可以獲得專家諮詢、可行性研究和簽訂洩漏試驗服務，以確定最適合其特定應用的解決方案。

探索 Pfeiffer 的洩漏檢測技術和應用專業知識