方便使用者使用
大尺寸迴轉式彩色觸控螢幕,整合式工具箱和儲存空間
效能卓越
快速啟動,高抽氣速率,非常適合清潔環境中的高要求應用
靈活
精巧、符合人體工學的設計,方便進入所有測試區域
技術規範
市場和應用
汽車與運輸
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洩漏偵測和 EoL 測試
電池
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洩漏偵測和 EoL 測試(主控)
化學
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洩漏檢測
顯示器
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預真空鎖腔體
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等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)
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物理氣相沉積 (PVD)
氫經濟
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洩漏偵測和 EoL 測試(主控)
醫療
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醫療裝置的洩漏試驗
製藥與生物科技
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洩漏檢測
研發
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高能物理學
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洩漏檢測
製冷與空調系統
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洩漏偵測和 EoL 測試
半導體
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LPCVD/擴散
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高流量應用
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剝離/灰化
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PVD
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檢測與計量
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多晶矽蝕刻
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光沉積
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離子佈植
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PECVD
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微影
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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氧化層蝕刻
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Load lock 與移轉
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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ALD
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鍛鍊
技術氣體
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液化
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絕緣真空
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氣體運輸
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裝瓶
薄膜鍍膜
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實驗室鍍膜