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ASM 390/392

檢漏儀

或者直接致電我們: +886 3 559 9230

方便使用者使用

大尺寸迴轉式彩色觸控螢幕,整合式工具箱和儲存空間

效能卓越

快速啟動,高抽氣速率,非常適合清潔環境中的高要求應用

靈活

精巧、符合人體工學的設計,方便進入所有測試區域

技術規範

市場和應用

汽車與運輸
  • 洩漏偵測和 EoL 測試
電池
  • 洩漏偵測和 EoL 測試(主控)
化學
  • 洩漏檢測
顯示器
  • 預真空鎖腔體
  • 等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)
  • 物理氣相沉積 (PVD)
氫經濟
  • 洩漏偵測和 EoL 測試(主控)
醫療
  • 醫療裝置的洩漏試驗
製藥與生物科技
  • 洩漏檢測
研發
  • 高能物理學
  • 洩漏檢測
製冷與空調系統
  • 洩漏偵測和 EoL 測試
半導體
  • LPCVD/擴散
  • 高流量應用
  • 剝離/灰化
  • PVD
  • 檢測與計量
  • 多晶矽蝕刻
  • 光沉積
  • 離子佈植
  • PECVD
  • 微影
  • 金屬與高介電常數材料的蝕刻
  • 氧化層蝕刻
  • Load lock 與移轉
  • 钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
  • ALD
  • 鍛鍊
技術氣體
  • 液化
  • 絕緣真空
  • 氣體運輸
  • 裝瓶
薄膜鍍膜
  • 實驗室鍍膜

配件

  • 嗅探探針,配備 5 或 10 m 軟管
  • 氦氣噴霧槍
  • 遠端控制
  • 瓶架
  • 濾塵器
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