性能卓越
先進的螺旋式設計，鐘形懸臂結構，榮獲專利的自平衡螺桿，卓越的運行品質，非常適用於 load lock 和傳送腔體、度量衡、光刻、物理氣相沉積以及快速熱退火等任務
高效
最新的 Busch VacBoost 技術，擁有成本低，維護少，可長效運行，直接水冷卻，智慧怠速模式
結構精巧
密閉式設計，直接安裝的密閉式馬達
技術規範
市場和應用
半導體
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剝離/灰化
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多晶矽蝕刻
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離子佈植
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氧化層蝕刻
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT