性能卓越
先進的螺旋式設計，卓越的運行品質，非常適用於化學氣相沉積、快速熱處理或原子層沉積應用
高效
擁有成本低，維護少，保養間隔長，可長效運行，高效水冷卻，高氫氣輸送量
結構精巧
密閉式設計，直接安裝的密閉式馬達
技術規範
市場和應用
半導體
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LPCVD/擴散
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多晶矽蝕刻
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PECVD
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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ALD
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性能卓越
先進的螺旋式設計，卓越的運行品質，非常適用於化學氣相沉積、快速熱處理或原子層沉積應用
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結構精巧
密閉式設計，直接安裝的密閉式馬達