性能卓越
先進的螺旋式設計，卓越的運行品質，集成真空助力器，非常適用於太陽能、平板顯示器、半導體應用及使用高溫氣體的嚴苛製程，例如蝕刻和 CVD，可完美處理粉末質材料，適用于嚴苛應用的 Tantal 鍍層螺杆
高效
擁有成本低，維護少，保養間隔長，可長效運行，高氫氣輸送量，低能耗，變溫控制
結構精巧
密閉式設計，直接安裝的密閉式馬達，底泵浦和真空助力器組合安裝於底座上，低振動水準
技術規範
市場和應用
顯示器
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物理氣相沉積 (PVD)
半導體
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LPCVD/擴散
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多晶矽蝕刻
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PECVD
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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ALD
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鍛鍊
太陽能
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鑄錠拉製