效能卓越
先進的螺旋式設計，卓越的運行品質，集成真空助力器，出色的粉末處理能力，非常適用于半導體應用、平板顯示器生產及太陽能應用
高效
擁有成本低，維護少，服務間隔長，可長效運行，高效水冷卻，高氫氣輸送量，變溫控制，低振動級
結構精巧
密閉式設計，直接安裝的密閉式馬達，集成控制面板，底泵浦和真空助力器組合安裝於精巧基礎框架上
技術規範
市場和應用
半導體
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LPCVD/擴散
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多晶矽蝕刻
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PECVD
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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ALD
太陽能
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電池製造
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鑄錠拉製