便於保養
只需從正面進行維護，拆卸時間不到一分鐘，得益於更少的磨損零件，總擁有成本低
靈活
可客製化設計以符合特定製程要求
可靠
最廣泛使用的減排技術，配備具有極高的經濟性的燃氣燃燒器，應用範圍廣泛
技術規範
市場和應用
化學
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實驗室真空
顯示器
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等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)
醫療
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實驗室真空
冶金
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真空燒結
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真空硬焊/軟焊
製藥與生物科技
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實驗室真空
研發
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光子學研究
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實驗室真空
半導體
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LPCVD/擴散
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高流量應用
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PECVD
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氧化層蝕刻
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ALD
太陽能
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電池製造
配件
- 廢氣入口加熱護套
- 廢氣入口 N₂ 加熱
- 燃燒器機械式清潔裝置
- 用於排氣的風扇套件