安全
永久性化學吸附結合專利吸收器設計
高效
介質消耗低，顆粒使用壽命得到優化
無需維護
由於沒有移動零件，因此維護需求極低
技術規範
市場和應用
化學
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實驗室真空
醫療
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實驗室真空
製藥與生物科技
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實驗室真空
研發
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光子學研究
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中央真空
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實驗室真空
半導體
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LPCVD/擴散
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剝離/灰化
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PVD
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多晶矽蝕刻
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離子佈植
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PECVD
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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氧化層蝕刻
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ALD
配件
- 電化學感應器
- 備用濾罐
- 備用旁通濾罐