靈活
可客製化設計以符合特定製程要求
便於保養
只需從正面進行維護,拆卸時間不到一分鐘,得益於更少的磨損零件,總擁有成本低
高效
整合濕式洗滌器的電加熱廢氣處理系統,透過注入氫氣提高燃燒溫度以破壞 PFC 和其他氣體
技術規範
市場和應用
半導體
-
LPCVD/擴散
-
PECVD
-
氧化層蝕刻
配件
- 加熱護套
- 廢氣入口 N₂ 加熱
- 用於排氣的風扇套件
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高效
整合濕式洗滌器的電加熱廢氣處理系統,透過注入氫氣提高燃燒溫度以破壞 PFC 和其他氣體