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CT-TW-H

熱濕混合

或者直接致電我們: +886 3 559 9230

靈活

可客製化設計以符合特定製程要求

便於保養

只需從正面進行維護,拆卸時間不到一分鐘,得益於更少的磨損零件,總擁有成本低

高效

整合濕式洗滌器的電加熱廢氣處理系統,透過注入氫氣提高燃燒溫度以破壞 PFC 和其他氣體

技術規範

市場和應用

半導體
  • LPCVD/擴散
  • PECVD
  • 氧化層蝕刻

配件

  • 加熱護套
  • 廢氣入口 N₂ 加熱
  • 用於排氣的風扇套件